SEMI F8 - 引張り力を受けた場合のフロロカーボン製チューブ継手接合部のシール能力を評価する試験方法 -

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Non-Member Price: ¥38,100

Volume(s): Facilities
Language: Japanese



Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI F8-0998 (再承認 0613) - 非アクティブ

リビジョン

Abstract

本基準は、Liquid Chemical Global Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2013年6月4日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 org およびwww.semi.org で入手可能となる。初版は1992年発行、前版は1998 9 月発行。

注意: この文書は、編集上の修正を行い、再承認されました。

この方法は、接合部が引張り力を受けた場合、フロロカーボン材質でできたチューブ継手接合部のシール能力を測定する一定の手順を提供するものである。

この方法は,ここに規定されている条件下で作成された試験データに沿って,チューブ継手接合部の特性を当然のことに使用することができる。

この方法において定義されるチューブは,管状の形状をしており,フロロカーボン材質でできている。

この方法において定義されるチューブのうち内部の液体と接触する全ての部分は,フロロカーボン材質でできている。

ナット,グリッパ等のような部品は,フロロカーボン材質で作成されなくてもよい。

チューブと評価されているチューブの間のシールのみ,本書の適用範囲内である。

時々のチューブ要件の間または製造者の間における比較のためにこの方法を使用する場合には,ユーザは評価されるべきチューブおよびチューブ要件を明確に選択しなければならない。

本書における計量の標準単位としては,国際単位系( SI )が使用される。

参照されるSEMI規格

なし。

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