SEMI F5 - ガス状態廃棄物処理のガイドライン -

Abstract

注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。

免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

このガイドは、地球環境衛生安全委員会で技術的に承認されたもので、北米環境衛生安全委員会が直接責任を負うものである。現版は、 2001年8月27日に北米地域規格委員会にて承認されている。2001年9月にまずwww.semi.orgで入手可能， 2001年11月発行に続く。初版は1990年発行。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

注意：本書は，投票に付された通り， SEMI F5-90の全体と置き換えることを目的としている。

注意： 「注」と記した段落は，このガイドの正式部分ではなく，公式ガイドを修正または置き換えることを意図していない。これらは，タスクフォースが本ガイドの使用をさらに充実させるために提供したものである。

このガイドラインの目的は、排気システムの原理を理解するための一般的な知識及び背景となる情報を半導体業界に提供することである。

これには、放出を軽減するための適切な方法及び装置だけでなく構成及び選択に対する推奨案も含まれている。

このガイドは、半導体製造設備から放出される可能性のあるガス状態及び粒子状態汚染物質双方に対する削減方法の選択を行う際に使用されることを意図している。

適用 － このガイドラインでは、下記事項を含む入手可能な情報の検討及び評価を行う。

• 半導体製造作業中に放出が考えられる化学化合物及び元素の化学的及び物理的性質
• 異なるグループの物質に対する分離排除システムに対する現在の業界が実施しているやり方
• 半導体製造作業から排出されるガス状及び粒子状汚染物質の放出を「配管終端」において削減するために考えられる方法
• 半導体製造工程から排出されるガス状及び粒子状汚染物質の放出を「使用点」で削減するために考えられる方法，及びそれらがある工程に使用すべき理由
• 汚染物質の放出を最小限にするため、回収、廃棄え及び「 使用量削減」 の産業界の標準手法

SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S5 — 流量制限装置の安全ガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学のための装置の安全ガイドライン

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