{"product_id":"e16600-semi-e166-specification-for-450-mm-cluster-module-interface-mechanical-interface-and-transport-standard","title":"E16600 - SEMI E166 - 450 mm クラスタ モジュール インターフェイスの仕様: 機械インターフェイスおよびトランスポート標準","description":"\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの規格の目的は、450 mm のクラスタ ツールを構成するトランスポート モジュールとプロセス モジュール間の物理的な接続の必要最小限のレベルを確保することです。両方のモジュールがこの規格の要件を満たしていれば、プロセス モジュールは最小限の設計変更で任意のクラスタ ツールのトランスポート モジュールに接続できることが期待されます。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH3\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH3\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eプロセスモジュールは、モジュールごとに実質的に異なる可能性がある場所でウェーハを受け入れます。これにより、クラスタ ツール内のさまざまなプロセス モジュールとの間でウェーハを移動するトランスポート モジュールの機能に負担がかかります。この仕様は、モジュール内のウェーハ搬送面を定義します。これにより、ウェーハ搬送の問題が大幅に回避されますが、プロセス モジュールの内容が過度に制限されることはありません。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH1\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの規格は、クラスター ツールのモジュール間のインターフェイス プレーンを定義します。これは、一緒に接続されるトランスポートモジュールとプロセスモジュールの間のインターフェースにおける機械的仕様を提供します。モジュールの内容に要件は課されません。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの規格は、以下の例外を除き、直径 450 mm のウェーハおよびクラスター ツール モジュール間のインターフェイスにのみ適用されます。トランスポート モジュールはインターフェイス プレーン全体で動作します。したがって、プロセスモジュール内のウェーハ搬送面の定義が必要です。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cb\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/font\u003e\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E21 — クラスタツールモジュールインターフェースの仕様: 機械的インターフェースおよびウェーハ搬送\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E21.1 — クラスターツールモジュールインターフェース 300 mm の仕様: 機械的インターフェースおよびウェーハ搬送\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E154 — 450 mm ロードポートの機械的特徴の仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style=\"line-height: 14.2667px; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E166-0814 (Reapproved 0220) - Inactive","offer_id":43106900705347,"sku":"13763","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E166-0814 - 置き換えられました","offer_id":40234266329155,"sku":"3780","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E166-0513 - 置き換えられました","offer_id":40234266656835,"sku":"7758","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_7b54a313-ba7d-4475-b641-8a0a6c376725.png?v=1776702855","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e16600-semi-e166-specification-for-450-mm-cluster-module-interface-mechanical-interface-and-transport-standard","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}