{"product_id":"e15900-semi-e159-mechanical-specification-for-multi-application-carrier-mac-used-to-transport-and-ship-450-mm-wafers","title":"E15900 - SEMI E159 - 450 mm ウェーハの輸送および出荷に使用されるマルチ アプリケーション キャリア (MAC) の機械的特徴に関する仕様","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書の目的は、SEMI M74 で指定されている 450 mm ウェーハの輸送および出荷に使用するキャリアの基本的な物理的寸法を確立することです。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書は、キャリアの寸法およびキャリアと相互作用するロード ポートの特徴の基準面を定義することを目的としています。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書は、革新的なソリューションを制限することなく、ロード ポートとキャリアの相互運用性を確保するための一連の要件を定義することを目的としています。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格では、450 MAC が主にシリコン ウェーハの製造中、および処理済みのデバイス ウェーハの保管と輸送に使用され、同時にウェーハの品質を維持し、キャリアの自動使用を可能にすることを前提としています。自動化された方法を使用して、ウェーハを MAC から 450 FOUP に、および 450 FOUP から MAC に移送することをお勧めします。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書では、450 mm キャリアの外観特徴と寸法を指定します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書は、450 mm キャリア内でウェーハを支持および拘束するための内部排除容積を指定します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書では、450 mm キャリアを支持し、位置決めするキネマティック ピンの重要な寸法と位置を指定します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書では、キャリアの寸法の基準として 3 つの直交する基準面を定義します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cb\u003e参照SEMI規格\u003c\/b\u003e（別途購入）\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E1.9 —\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e300 mmの輸送および保管に使用されるカセットの機械的仕様\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eウエハース\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E30.1 — 仕様\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e特定機器モデル (ISEM) の検査およびレビュー用\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E144 — 仕様\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eキャリアの RFID タグとキャリアの RFID リーダー間の RF エア インターフェイス用\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e半導体製造装置およびマテリアルハンドリング装置\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E154 — 仕様\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e450 mm ロード ポートの機械的特徴について\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eセミM74 —\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e直径 450 mm の研磨ウェーハの機械的取り扱いの仕様\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E159-0819 - Inactive","offer_id":43106900934723,"sku":"13441","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E159-0314E - 置き換えられました","offer_id":40234265280579,"sku":"3774","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E159-0314 - 置き換えられました","offer_id":40234265313347,"sku":"7786","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E159-0912 - 置き換えられました","offer_id":40234265346115,"sku":"7707","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E159-0312 - 置き換えられました","offer_id":40234265411651,"sku":"7685","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E159-0611 - 置き換えられました","offer_id":40234265477187,"sku":"7655","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_759cab8b-2288-4bb4-ae6a-49ff1dbe9a3a.png?v=1776702859","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e15900-semi-e159-mechanical-specification-for-multi-application-carrier-mac-used-to-transport-and-ship-450-mm-wafers","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}