{"product_id":"e15700-semi-e157-モジュールプロセストラッキングの仕様","title":"E15700 - SEMI E157 - モジュールプロセストラッキングの仕様","description":"\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e本基準は、グローバル\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e情報管理委員会で技術\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e的に承認されている。現版は2010年12 \u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e月21\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e日、グローバル監査およびレビュー小委員会\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eにて発行が承認された\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e。 org\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eおよび\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003ewww.semi.org\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eで入手可能となる。初版は\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e2010\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e年\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e6\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e月発行。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e本仕様の目的は、プロセス関連データを工場システムに報告する標準の装置機能を定義することである。 。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e \u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e今日の半導体工場において，実行プロセス時のデータの収集は重要である。 。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eこのプロセスデータの報告機能により，工場のアプリケーションは，抽出した時系列データ（トレース）およびサマリープロセスデータを関連するコンテキストデータに結びつけることができる。イベントによって，このようなコンテキスト情報が利用可能であることを保証する。コンテキストデータには，プロセス・ジョブ，デバイスレシピ，処理基板の識別子などの項目が含まれる\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e。\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e終了レコードが，レシピステップレベルの粒度で提供される。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eこれらのイベントの報告は，プロセスモジュール固有のデータパラメータを報告するために，プロセスモジュールごとに行う必要があります。これらのプロセスモジュールは，一般に，それぞれ異なるコンテキストやプロセスのデータパラメータ値を持つ。イベントがすべてのプロセスチャンバに適用されるような一般イベントでは，そのイベントレポートが発生したプロセスモジュールに関係なく同じデータが報告される。データパラメータの取得に必要とされる，プロセスモジュール固有のデータセットは報告されない。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)\u003cbr\u003e SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)\u003cbr\u003e SEMI E40 — 処理管理の標準\u003cbr\u003eSEMI E87 — キャリア管理 (CMS) の仕様\u003cbr\u003eSEMI E90 — 基板トラッキングの仕様\u003cbr\u003eSEMI E120 — 共通機器モデル (CEM) の仕様\u003cbr\u003eSEMI E125 — 機器自己記述 (EqSD) の仕様\u003cbr\u003eSEMI E134 — データ収集管理 (DCM) の仕様\u003cbr\u003eSEMI E139 — レシピおよびパラメータ管理 (RaP)\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E157-0211 - 置き換えられました","offer_id":40234346053699,"sku":"8136","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E157-0710 - 置き換えられました","offer_id":40234346283075,"sku":"8137","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E157-0611 - 置き換えられました","offer_id":40234346512451,"sku":"8138","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_S_cf8f48e2-a76f-40e4-b62c-fbd750b9fb11.png?v=1776702137","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e15700-semi-e157-%e3%83%a2%e3%82%b8%e3%83%a5%e3%83%bc%e3%83%ab%e3%83%97%e3%83%ad%e3%82%bb%e3%82%b9%e3%83%88%e3%83%a9%e3%83%83%e3%82%ad%e3%83%b3%e3%82%b0%e3%81%ae%e4%bb%95%e6%a7%98","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}