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SEMI E157 - モジュールプロセストラッキングの仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、グローバル情報管理委員会で技術的に承認されている。現版は2010年12 月21日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認された。 orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2010年6月発行。
本仕様の目的は、プロセス関連データを工場システムに報告する標準の装置機能を定義することである。 。
今日の半導体工場において，実行プロセス時のデータの収集は重要である。 。
このプロセスデータの報告機能により，工場のアプリケーションは，抽出した時系列データ（トレース）およびサマリープロセスデータを関連するコンテキストデータに結びつけることができる。イベントによって，このようなコンテキスト情報が利用可能であることを保証する。コンテキストデータには，プロセス・ジョブ，デバイスレシピ，処理基板の識別子などの項目が含まれる。終了レコードが，レシピステップレベルの粒度で提供される。
これらのイベントの報告は，プロセスモジュール固有のデータパラメータを報告するために，プロセスモジュールごとに行う必要があります。これらのプロセスモジュールは，一般に，それぞれ異なるコンテキストやプロセスのデータパラメータ値を持つ。イベントがすべてのプロセスチャンバに適用されるような一般イベントでは，そのイベントレポートが発生したプロセスモジュールに関係なく同じデータが報告される。データパラメータの取得に必要とされる，プロセスモジュール固有のデータセットは報告されない。
参照されるSEMI規格SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E40 — 処理管理の標準
SEMI E87 — キャリア管理 (CMS) の仕様
SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様
SEMI E120 — 共通機器モデル (CEM) の仕様
SEMI E125 — 機器自己記述 (EqSD) の仕様
SEMI E134 — データ収集管理 (DCM) の仕様
SEMI E139 — レシピおよびパラメータ管理 (RaP)
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