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SEMI E154 - 450mmロードポートのためのメカニカルインターフェースの仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
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免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。
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本仕様の目的は，450 mm 用 FOUP および 450 mm 用 MAC のロードおよびアンロードを行う半導体製造装置 (SME) におけるロードポートの基本的な寸法のインタフェースを定義することである。革新的なソリューションを限定するシマノロードポートとキャリアの相互運用性を確保するための継続的な要求および機能を定義するものである。
本書のインターフェース仕様は，関連する450 mm FOUPおよび450 mm MACのSEMI基準に準拠してキャリアするによって決定され，また，キャリアに適合するように作成されています。
ロードおよびアンロードは、いくつかのシステムまたは装置（人が運転する車や高架ホイスト車など）を使って半自動および自動モードで行われることを想定している。
参照されるSEMI規格
SEMI E63 — 300 mm ボックス オープナー/ローダーとツール標準 (BOLTS-M) インターフェイスの仕様
SEMI E110 — 300 mm ロード ポートのロード ポート操作インターフェイスのインジケータ配置ゾーンとスイッチ配置ボリュームのガイドライン
SEMI E158 — 450 mm ウェーハ (450 FOUP) の輸送および保管に使用されるファブ ウェーハ キャリアおよびキネマティック カップリングの機械仕様
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