{"product_id":"e15200-semi-e152-150-mm-euvlレチクル用euvポッドの機械仕様","title":"E15200 - SEMI E152 - 150mm EUVLレチクル用EUVポッドの機械仕様","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-family: 'MS PMincho'; mso-no-proof: yes\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"mso-no-proof: yes; mso-fareast-font-family: 'MS Mincho'\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-family: 'MS PMincho'; mso-no-proof: yes\"\u003e本標準は、global Physical Interfaces \u0026amp; Carriers \u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"mso-no-proof: yes; mso-fareast-font-family: 'MS Mincho'\"\u003eCommittee \u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-family: 'MS PMincho'; mso-no-proof: yes\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"mso-no-proof: yes; mso-fareast-font-family: 'MS Mincho'\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-family: 'MS PMincho'; mso-no-proof: yes\"\u003eで技術\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"mso-no-proof: yes; mso-fareast-font-family: 'MS Mincho'\"\u003e的に承認されています。現\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-family: 'MS PMincho'; mso-no-proof: yes\"\u003e版は2009年5月\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"mso-no-proof: yes; mso-fareast-font-family: 'MS Mincho'\"\u003e13日、global Audits and Reviews Subcommittee \u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-family: 'MS PMincho'; mso-no-proof: yes\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"mso-no-proof: yes; mso-fareast-font-family: 'MS Mincho'\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-family: 'MS PMincho'; mso-no-proof: yes\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"mso-no-proof: yes; mso-fareast-font-family: 'MS Mincho'\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-family: 'MS PMincho'; mso-no-proof: yes\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"mso-no-proof: yes; mso-fareast-font-family: 'MS Mincho'\"\u003eにて\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e発行が承認されました。 \u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"mso-no-proof: yes; mso-fareast-font-family: 'MS Mincho'\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-family: 'MS PMincho'; mso-no-proof: yes\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"mso-no-proof: yes; mso-fareast-font-family: 'MS Mincho'\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-family: 'MS PMincho'; mso-no-proof: yes\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"mso-no-proof: yes; mso-fareast-font-family: 'MS Mincho'\"\u003e.org \u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-family: 'MS PMincho'; mso-no-proof: yes\"\u003eで、 \u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"mso-no-proof: yes; mso-fareast-font-family: 'MS Mincho'\"\u003eそして2009 \u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-family: 'MS PMincho'; mso-no-proof: yes\"\u003e年\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"mso-no-proof: yes; mso-fareast-font-family: 'MS Mincho'\"\u003e7 \u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-family: 'MS PMincho'; mso-no-proof: yes\"\u003e月に\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"mso-no-proof: yes; mso-fareast-font-family: 'MS Mincho'\"\u003eCD-ROM \u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-family: 'MS PMincho'; mso-no-proof: yes\"\u003eで入手可能となりました。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c?xml:namespace prefix = o ns = \"urn:schemas-microsoft-com:office:office\" \/\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0in 0in 0pt\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"mso-fareast-font-family: 'MS Mincho'\"\u003e\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in; TEXT-INDENT: 0in\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-ansi-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-ansi-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"mso-ansi-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-ansi-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"mso-ansi-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-ansi-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"mso-ansi-language: JA\"\u003e本スタンダードは，6インチレチクルの出荷，搬送，および保管のために使用する150 m m極紫外線リソグラフィ（ EUVL ）レチクル用EUV \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-ansi-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-ansi-language: JA\"\u003eポッド\u003c\/span\u003eの仕様を記述している。 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-ansi-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-ansi-language: JA\"\u003eEUVポッドは、従来のレチクルキャリアがEUVL \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-ansi-language: JA\"\u003eの要件に適合しない場合に使用する。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfonthelv\u003e\u003cfonthelv\u003e\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfonttimes new roman size=\"3\"\u003eSEMI E1.9 — 300mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様\u003cbr\u003e\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfonttimes new roman size=\"3\"\u003eSEMI E19.4 — 200 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF)\u003cbr\u003e\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfonttimes new roman size=\"3\"\u003e SEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせと支持に使用されるキネマティックカップリングの機械仕様\u003cbr\u003e\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfonttimes new roman size=\"3\"\u003eSEMI E100 — 6 インチまたは 230mm レチクルを輸送および保管するためのレチクル SMIF ポッド (RSP) の仕様\u003cbr\u003e\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfonttimes new roman size=\"3\"\u003eSEMI P37 — 極端紫外線リソグラフィーマスク基板の仕様\u003cbr\u003e\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfonttimes new roman size=\"3\"\u003eSEMI P38 — 極端紫外線マスクブランク上の吸収フィルムスタックおよび多層の仕様\u003cbr\u003e\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfonttimes new roman size=\"3\"\u003eSEMI P40 — 極端紫外線マスクの取り付け要件と位置合わせ基準位置の仕様\u003cbr\u003e\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfonttimes new roman size=\"3\"\u003eSEMI T16 — 極端紫外線マスクの自動識別のためのデータ マトリックス シンボルの使用に関する仕様\u003cbr\u003e\u003c\/fonttimes\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/fonttimes\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/fonttimes\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/fonttimes\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/fonttimes\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/fonttimes\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/fonttimes\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/fonttimes\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/fonthelv\u003e\u003c\/fonthelv\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E152-0709 - 置き換えられました","offer_id":40234248896579,"sku":"3768","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_1a586e6b-47b9-43a1-accb-d7357848d747.png?v=1776702863","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e15200-semi-e152-150-mm-euvl%e3%83%ac%e3%83%81%e3%82%af%e3%83%ab%e7%94%a8euv%e3%83%9d%e3%83%83%e3%83%89%e3%81%ae%e6%a9%9f%e6%a2%b0%e4%bb%95%e6%a7%98","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}