{"product_id":"e13900-semi-e139-レシピとパラメータに関する管理の規定rap","title":"E13900 - SEMI E139 - レシピとパラメータに関する管理の規定（RaP）","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本基準は、global Information \u0026amp; Control Committee で技術的に承認されている。現版は年月日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。年月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi .orgで入手可能となる。初版は年月発行、前版は年月に発行された。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e注意： SEMI E139は，SEMI E139.3の改訂を反映して，の出版サイクルで更新されました。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e本規定の目的は工場内情報管理系（Factory Information \u0026amp; Control System: FICS ）と装置間の協調動作を規定するものであり，この協調動作は装置に於けるプロセス実行に関する仕様（例装置のレシピ）を管理するために行われるものである。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本目的の達成のために備えている必要がある、主たる要素が\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e6\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eつある\u003cfont size=\"2\"\u003e:\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e装置上、及び装置外部でのレシピの管理\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e— 装置内、​​すなわち FICS レベルでの分割レシピの管理機能の装備。統合用の同一管理アプリケーションの要求が無くても備えなければなりません。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003ci\u003e \u003c\/i\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cli\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eレシピの完全管理—\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eある装置プロセスにおいての実行方法を決めるレシピはFICS内で使われることを意図したレシピと同等であることの保障。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003ci\u003e \u003c\/i\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eプロセスの完全管理—装置の使用時に変更することが可能であり、プロセスの結果に影響を与える可能性がある、装置の構成に悩む量値／設定がプロセスジョブの使い方の中でホストが管理できること。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e調整用パラメータの定義\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e—他のSEMIスタンダード（例，SEMI E40 ）で利用されている，すべてのデバイスの間で一貫した方法で，パラメータの調整ができるようにしたレシピのパラメータの定義。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003ci\u003e \u003c\/i\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cli\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e装置上、一方装置外部でのレシピの作成と編集— FICS とレシピを作成／編集する機能を備えるシステム間での、一貫したプロセッサの定義。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003ci\u003e \u003c\/i\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e情報のアクセス能力\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e—\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eレシピにとって重要な情報がFICS\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eから覗けること。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e \n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e上記の目的の達成方法に関する議論は\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e§7\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eを参照のこと。総括については¶7.13\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eに掲載する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e下位文書:\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\" size=\"2\"\u003eSEMI E139.1-0310 — RaP PDE の XML スキーマ\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\" size=\"2\"\u003eSEMI E139.2-1108 — レシピおよびパラメータ管理用の SECS-II プロトコル (RaP)\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\" size=\"2\"\u003eSEMI E139.3-1211 — レシピおよびパラメータ管理のための XML\/SOAP バインディング\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI E4 — SEMI 機器通信標準 1 メッセージ転送 (SECS-I)\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e \u003cfont\u003eSEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e \u003cfont\u003eSEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e \u003cfont\u003eSEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービス\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E40 — 処理管理の標準\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E120 — 共通機器モジュール (CEM) の仕様\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E121 — 半導体製造アプリケーションのための XML のスタイルと使用法に関するガイド\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E139 — レシピおよびパラメータ管理 (RaP)\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E139-1211 - 置き換えられました","offer_id":40234347528259,"sku":"8118","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E139-0310 - 置き換えられました","offer_id":40234347659331,"sku":"8119","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E139-0709 - 置き換えられました","offer_id":40234347724867,"sku":"8120","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E139-1108 - 置き換えられました","offer_id":40234347757635,"sku":"8121","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E139-0708 - 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