SEMI E139 - レシピとパラメータに関する管理の規定（RaP） -

Abstract

本基準は、global Information & Control Committee で技術的に承認されている。現版は年月日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。年月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi .orgで入手可能となる。初版は年月発行、前版は年月に発行された。

注意： SEMI E139は，SEMI E139.3の改訂を反映して，の出版サイクルで更新されました。

本規定の目的は工場内情報管理系（Factory Information & Control System: FICS ）と装置間の協調動作を規定するものであり，この協調動作は装置に於けるプロセス実行に関する仕様（例装置のレシピ）を管理するために行われるものである。

本目的の達成のために備えている必要がある、主たる要素が6つある:

• 装置上、及び装置外部でのレシピの管理
— 装置内、​​すなわち FICS レベルでの分割レシピの管理機能の装備。統合用の同一管理アプリケーションの要求が無くても備えなければなりません。
• レシピの完全管理—ある装置プロセスにおいての実行方法を決めるレシピはFICS内で使われることを意図したレシピと同等であることの保障。

• プロセスの完全管理—装置の使用時に変更することが可能であり、プロセスの結果に影響を与える可能性がある、装置の構成に悩む量値／設定がプロセスジョブの使い方の中でホストが管理できること。

• 調整用パラメータの定義
—他のSEMIスタンダード（例，SEMI E40 ）で利用されている，すべてのデバイスの間で一貫した方法で，パラメータの調整ができるようにしたレシピのパラメータの定義。
• 装置上、一方装置外部でのレシピの作成と編集— FICS とレシピを作成／編集する機能を備えるシステム間での、一貫したプロセッサの定義。

• 情報のアクセス能力—レシピにとって重要な情報がFICSから覗けること。

上記の目的の達成方法に関する議論は§7を参照のこと。総括については¶7.13に掲載する。

下位文書:

SEMI E139.1-0310 — RaP PDE の XML スキーマ

SEMI E139.2-1108 — レシピおよびパラメータ管理用の SECS-II プロトコル (RaP)

SEMI E139.3-1211 — レシピおよびパラメータ管理のための XML/SOAP バインディング

SEMI E4 — SEMI 機器通信標準 1 メッセージ転送 (SECS-I)

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)

SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)

SEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービス

SEMI E40 — 処理管理の標準

SEMI E120 — 共通機器モジュール (CEM) の仕様

SEMI E121 — 半導体製造アプリケーションのための XML のスタイルと使用法に関するガイド

SEMI E139 — レシピおよびパラメータ管理 (RaP)

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