SEMI E138 - 半導体生産系で共通に使える情報の構成要素のXML表現 -

Abstract

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本基準は、Global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は 2009 年 5 月 13 日グローバル監査およびレビュー小委員会にて承認された。2009 年 6月に www.semi.orgで。初版は2005年発行、前版は2009年3月に発行された。

本書は共通に使われるXMLの要素の規定の中核に当てられるものであり、ある１つの標準に特化したものではなく、数々の標準を横断的に共通に使われないものである。

本書は，共通の構成要素と考えられるError ，Data Type ，Date Value TypeとUnitの表現を定義するものである。生成されたスキーマと関連して使用される。

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)

SEMI E87 — キャリア管理 (CMS) の仕様

SEMI E121 — 半導体製造アプリケーションのための XML のスタイルと使用法に関するガイド

SEMI E125 — 機器自己記述（EqSD）の仕様

SEMI E132 — 機器クライアントの認証および認可の仕様

SEMI E134 — データ収集管理の仕様

SEMI E145 — XML における測定単位記号の分類

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