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SEMI E134 - 데이터 수집 관리 사양 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Korean
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
情報管理グローバル技術委員会、グローバル監査およびレビュー小委員会、2013 年6月4日간행이 승 인되었다 。 2013年4月 4 日www.semiviews.org から www.semi.org にアクセスします。 2004年7月7日 ; 2013年3月3日。
본 표준은 데이터 수집을 목적으로 사용자의 アドホック 요청 으로 이루어지는 통신이나 、 장비에서 자동 화된 방식으로 통신이 이루어질 장비로부터 프로세스 및 운용 데이터를 요청하는 메소드 (メソッド) 를 설명한다 。 또한 대용량의 데이터 소스 (データ ソース) 를 활성화 (有効化) 또는 비 활성화 (無効化) 하는 방식을 보다 단순화하 기 위해 관련된 데이터를 그룹화 하는 메커니즘과 、消費者 가 각각의 목적에 따라 관련된 데이터를 그 룹화 하는 메커니즘을 포함 한다 。
본 표준은 특정 데이터 수집 계획 을 이용하여 반도체 장비로부터 이벤트 (イベント)、 예외사항 (例外) 및트 레이스 데이터 (トレース データ) 를 취득하는 수단을 제공한다 。 또한 데이터 수집 계획이 어떠한 형태를 가지는지 , 그 내용이 가지는 의미와 장비에서 지원하 는 데이터가 어떤 인터페이스로 관리되는지를 정의한다 。
본 표준은 한정된 상태 머신에서의 데이터 수집 계획에 대한 실행과 연관된 동작 (行動) 을 정 의한다 。 데이터 수집 계획의 결과로 생성된 데이터의 포맷 또한 데이터 수집 계획 출력 값을 이용할 때 지 원되는 인터페이스 형태로 정의된다 。
본 표준 은 데이터 수집을 포함 하여 장비 상의 일련의 활동 (アクティビティ) 이 장비 제조사가 의 일본 준 하消費者は、消費者との関係を維持する必要があります。
본 표준은 데이터 수집 계획과는 별개로 장비에서 간헐적으로 이루어지는 데이터 요청에 대한 방법도 정의한다 。
参照されるSEMI規格SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E40 — 処理管理の標準
SEMI E94 — コントロールジョブ管理の仕様
SEMI E120.1 — 共通機器モデルの XML スキーマ
SEMI E121 — 半導体製造アプリケーションのための XML のスタイルと使用法に関するガイド
SEMI E125 — 機器自己記述（EqSD）の仕様
SEMI E125.1 — 機器の SOAP 実装の仕様 自己記述
SEMI E128 — XML メッセージングの仕様
SEMI E132.1 — 機器クライアントの認証および認可の SOAP 実装に関する仕様
SEMI E138 — XML 半導体共通コンポーネント
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