SEMI E129 - 半導体製造設備における静電気放電（ESD）の評価と制御へのガイド -

Abstract

本標準は、global Metrics Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2012年8月30日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 およびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2003年11月発行。前版は2009年7月発行。

この文書の目的は、半導体製造環境の中の静電気電荷および電界に生じた生産性への悪影響を最小限にすることである。本書は、半導体工場全体の静電気的な両立性を確立するためのガイドである。半導体製造に使われる装置の静電気的な互換性は、 SEMI E78に迷っている。

表面に存在する静電気電荷は、半導体製造環境の中で多くの注目されない効果を考える。

静電気放電（ ESD ： 静電気放電 ）は製品とレチクルに損傷を与える。また、ESDイベントは電磁妨害（ EMI ：電磁妨害）を警戒し、その結果、設備故障が発生する。

帯電したウェーハやレチクルの表面は微粒子を吸着（静電気吸着、 ESA ：静電引力）し、不良率を増加。

静電気電荷発生の装置動作における問題や付随的に発生する製品欠陥は，半導体製造装置のすべてのコスト（ COO ： 所有権コスト ）へのマイナス利益となる可能性がある（ SEMI E35を参照）。

静電気の数々の制御方法は，静電気を許容レベルまで抑制するために装置設計に組み込むことができる。本書は，装置製造業者およびクリーンルーム設備の設計者が装置設計を行う際に，ガイドとして使用記載された試験方法は、静電気の制御方法の有効性を定めるために使用される。エンドユーザは、設備の建設後や設計変更後にこれらの試験方法を用いて装置の設計仕様との適合性を検証し、工場のメンテナンス作業としての現状の適合性を検証できる。

半導体プロセス技術は、より微細化形状に向かい続けようであろう。 静電気の許容可能なレベルは、製造プロセスの微細化に伴って低くなる。 この文書は、設備の静電気の限界値が製造中の製品対適切であることを確認するのに役立つ。半導体国際技術ロードマップ(ITRS)に含まれる形状サイズを参照。

この文書の適用範囲は，測定に使用する方法とすべての設備表面に存在する静電気電荷の最大推奨レベルに関するガイダンスに限定される。

• 製品、レチクル、またはそれらのキャリア
• 設備建設資材および備品
• 人体
• 梱包材や輸送材
• 装置（SEMI E78への参照による）

この文書は、半導体製造施設内の製品、レチクル、キャリア、および表面での静電気の最大推奨レベルの表が示されている。

• ESDによる製品，レチクルおよび装置の損傷を低減する。
• ESDイベントによる装置のロックアップ問題を軽減する。
• 帯電した表面への微粒子吸着を低減する。

この文書は、 SEMI E78 、 SEMI E43 、静電気を測定するその他の方法、および静電気制御方法の性能パラメータを参照しています。

付属書1では、¶ 12.7の表1に示す帯の最大推奨レベルをする決定方法について説明する。 SEMI E129にある独自の方法、およびこのガイドとSEMI E78の推奨を統合させる更新情報の両方を含むでいる。

製品やレチクルの保護あるいはEMI制御について，ある領域のESDのリスクの度は発生するESDイベントの存在と性質によって定義される。

微粒子の静電気吸着を低減することによる汚染管理では，領域の静電気のリスクは静電気の電荷の存在とレベルによって定義される。

レチクルへの損傷について，リスクは，レチクル上の静電気の変化率またはレチクルの周囲の界電強度によって定義される。

半導体製造は，ミニエンバイロメントや製造装置内で行われることが多いである。 静電気に関連した問題の多くは，その製品がキャリア内に保管中，キャリアからの移載，または，製造装置によりとりあえず際に確保される。

静電気の数々の制御方法は，静電気を許容レベルまで制御のために装置設計に組み込むことができる。

静電気の制御方法の有効性を示すための試験方法がいくつかあります（このガイドの§6 、§7 参照）。試験は、静電気測定分野の資格を取得した人により行われているものである。

装置設計に適用される静電気の制御方法は半導体製造施設内の静電気に関連するすべての問題を解決するものではない。製造設備内で動く人も静電気の発生源となる。

参照されるSEMI規格

SEMI E33 — 半導体製造施設の電磁両立性に関する仕様
SEMI E35 — 半導体製造装置の所有コスト (COO) 指標を計算するためのガイド
SEMI E43 — 物体および表面の静電気測定の推奨方法
SEMI E78 — 機器の静電気放電 (ESD) および静電気吸引 (ESA) を評価および制御するためのガイド

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