{"product_id":"e12700-semi-e127-装置組込み計測モジュール通信の仕様-概念-挙動-サービスimmc","title":"E12700 - SEMI E127 - 装置組込み計測モジュール通信の仕様：概念、挙動、サービス（IMMC）","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e本基準は、グローバル情報管理\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e委員会で技術的に承認されている。現版は2007年12\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月20日、グローバル監査およびレビュー小委員会\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eにて発行が承認された\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e。 \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eorgで、そして2008年3月にCD \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e-ROMで入手可能となりました。\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e初版は2003年7\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月発行、前版は\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e2007年11\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月に発行されました。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003ci\u003e \u003c\/i\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e装置組込み計測\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e装置組込み計測（測定や検査）の目的は、瞬時に測定データを取得し、プロセス装置と計測装置の間の材料の伝達を減らす、スループットの低下を恐れる、または皆無にすることによりプロセスモニタリングの機会また、装置組計測では、先進プロセス制御システムはこの測定結果の利用により、短いフィードバック時間の遅れを実現する。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e装置組込み計測モジュール通信（ \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eIMMC \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e）の仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eIMMC規定の目的は、装置組込み計測モジュールのオブジェクトベースの仕様を示すことである。オブジェクトベースで示すことである。このインタフェースにより特定のオブジェクトのプロパティとサービスにアクセスできるようになる。これにより、モジュールをより大きなシステムに組み込む際の労力が軽減できる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e本スタンダードのもう一つの目的は、マルチモジュール装置に組み込まれた計測モジュールや装置のソフトウェアの変更をしなくても良いような、IMMC準拠の装置組込み計測モジュールのオンラインサービスとインターフェースを一緒にしましたこれには計測モジュールの供給ヤに任されているある種の選択事項に関する構成変更を，エンドユーザがユーザインタフェース上で行うことが必要となる可能性があります性がある。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003ci\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本書の範囲\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e装置組込み計測モジュール通信の仕様は，大口径基板の処理を前提とした生産装置に組めるよう，測定あるいは組み込み検査モジュールが提供する概念，挙動，サービスをカバーする。への適用を制限するものではありません。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e下位文書:\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eSEMI E127.1-0308 - 装置組み込み計測モジュール通信のSECS-II\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eプロトコル仕様（IMMC \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e）\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfonthelv\u003e\u003cfonthelv\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003eSEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)\u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)\u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI E30.5 — 計測固有機器モデル (MSEM) の仕様\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI E32 — 物質移動管理 (MMM)\u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス\u003cbr\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E39.1 \u003cfont\u003e— オブジェクト サービス標準 (OSS) の SECS-II プロトコル\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI E40 — 処理管理の標準\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI E41 — 例外管理 (EM) 規格\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI E42 — レシピ管理標準: 概念、動作、およびメッセージ サービス\u003cbr\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E53 —\u003cfont\u003eイベントレポート\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI E58 — 自動信頼性、可用性、保守性標準 (ARAMS): 概念、動作、およびサービス\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI E90 — 基板トラッキングの仕様\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI E90.1 — SECS-IIプロトコルの基質追跡に関する暫定仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI E98 — オブジェクトベース機器モデル (OBEM) の暫定規格\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI E116 — 機器性能追跡に関する暫定仕様\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI E120 — 共通機器モデル (CEM) の暫定仕様\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI E148 — 時刻同期の仕様とクロックオブジェクトの定義\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI M20 — ウェーハ座標系を確立するための仕様\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/fonthelv\u003e\u003c\/fonthelv\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E127-0308 - 非アクティブ","offer_id":40234318856259,"sku":"5853","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_S_2f6aa199-c49d-4123-b9d8-23fca174c9de.png?v=1776702329","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e12700-semi-e127-%e8%a3%85%e7%bd%ae%e7%b5%84%e8%be%bc%e3%81%bf%e8%a8%88%e6%b8%ac%e3%83%a2%e3%82%b8%e3%83%a5%e3%83%bc%e3%83%ab%e9%80%9a%e4%bf%a1%e3%81%ae%e4%bb%95%e6%a7%98-%e6%a6%82%e5%bf%b5-%e6%8c%99%e5%8b%95-%e3%82%b5%e3%83%bc%e3%83%93%e3%82%b9immc","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}