SEMI E127 - 装置組込み計測モジュール通信の仕様：概念、挙動、サービス（IMMC） -

Abstract

本基準は、グローバル情報管理委員会で技術的に承認されている。現版は2007年12月20日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認された。 orgで、そして2008年3月にCD -ROMで入手可能となりました。初版は2003年7月発行、前版は2007年11月に発行されました。

装置組込み計測

装置組込み計測（測定や検査）の目的は、瞬時に測定データを取得し、プロセス装置と計測装置の間の材料の伝達を減らす、スループットの低下を恐れる、または皆無にすることによりプロセスモニタリングの機会また、装置組計測では、先進プロセス制御システムはこの測定結果の利用により、短いフィードバック時間の遅れを実現する。

装置組込み計測モジュール通信（ IMMC ）の仕様

IMMC規定の目的は、装置組込み計測モジュールのオブジェクトベースの仕様を示すことである。オブジェクトベースで示すことである。このインタフェースにより特定のオブジェクトのプロパティとサービスにアクセスできるようになる。これにより、モジュールをより大きなシステムに組み込む際の労力が軽減できる。

本スタンダードのもう一つの目的は、マルチモジュール装置に組み込まれた計測モジュールや装置のソフトウェアの変更をしなくても良いような、IMMC準拠の装置組込み計測モジュールのオンラインサービスとインターフェースを一緒にしましたこれには計測モジュールの供給ヤに任されているある種の選択事項に関する構成変更を，エンドユーザがユーザインタフェース上で行うことが必要となる可能性があります性がある。

本書の範囲

装置組込み計測モジュール通信の仕様は，大口径基板の処理を前提とした生産装置に組めるよう，測定あるいは組み込み検査モジュールが提供する概念，挙動，サービスをカバーする。への適用を制限するものではありません。

下位文書:

SEMI E127.1-0308 - 装置組み込み計測モジュール通信のSECS-IIプロトコル仕様（IMMC ）

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E30.5 — 計測固有機器モデル (MSEM) の仕様
SEMI E32 — 物質移動管理 (MMM)
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E39.1 — オブジェクト サービス標準 (OSS) の SECS-II プロトコル
SEMI E40 — 処理管理の標準
SEMI E41 — 例外管理 (EM) 規格
SEMI E42 — レシピ管理標準: 概念、動作、およびメッセージ サービス
SEMI E53 —イベントレポート
SEMI E58 — 自動信頼性、可用性、保守性標準 (ARAMS): 概念、動作、およびサービス
SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様
SEMI E90.1 — SECS-IIプロトコルの基質追跡に関する暫定仕様
SEMI E98 — オブジェクトベース機器モデル (OBEM) の暫定規格
SEMI E116 — 機器性能追跡に関する暫定仕様
SEMI E120 — 共通機器モデル (CEM) の暫定仕様
SEMI E148 — 時刻同期の仕様とクロックオブジェクトの定義
SEMI M20 — ウェーハ座標系を確立するための仕様

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