SEMI E126 - 装置品質情報パラメーター（EQIP）に関する仕様 -

Abstract

注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、グローバル情報管理委員会で技術的に承認されている。現版は2008年5月13日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認された。 orgで。初版は2003年7月発行、前版は2008年3月に発行されました。

本標準では，装置プロセスのタイプやグループに関する主要な装置品質情報パラメータ(EQIP)を抽出する。することある。

本スタンダードは、新たな装置プロセスのタイプや本スタンダードの既存の装置プロセスのタイプでEQIPが発見される度に、更新可能な様に設計されています。

想定読者

この標準の範囲は、特定のデバイスプロセスのタイプの主要なEQIPを特定することに制限される。その中ではプロセスプログラムの設定可能なパラメータの中で、ここで言うEQIPに影響するものが最低１つ但しSEMIスタンダードで許可される方法を使用してこれらのパラメータをそれぞれ個別に操作できなければ案内される。特定することは意図的ではありません。完全に装置タイプを指定することも意図的にはありません。

本標準は、主要となるEQIPに影響するプロセスプログラムのパラメータを操作する能力を要求するもの、本標準はその操作の実行方法は指定しない。この適用範囲は，主要となるEQIPおよびそれらのプロセスプログラムのパラメータへの関係を定義することに限定される。

本基準は、業界の解決が得られれば、装置タイプに対応するEQIPを既存のものに追加できる構成となっている。を定義することも可能になっている。スタンダードへの追加は、SEMIスタンダードの投票プロセスによって行われる。

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)

SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)

SEMI E40 — 処理管理の標準

SEMI E94 — コントロールジョブ管理の仕様

SEMI E98 — オブジェクトベース機器モデル (OBEM) の暫定規格

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