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SEMI E122 - テスト装置の特定装置モデル（TSEM）の基準 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、Global Information and Control Committee で技術的に承認されたもので、North American Information and Control Committee が直接責任を負うものである。 て承認されている。2003年1月にまずwww.semi.orgで入手可能となり、 2003年3月発行に至る。
注意： SEMI E122は2003年7月にサブドキュメントSEMIE122.1が出版されたため改訂年月に更新されました。
注意：本書は2003年3月版（0303 ）にて削除されたSEMI E30.3を置き換えたものである。
本書では、装置のテストの特定の装置モデル（ TSEM ）を確立する。TSEM は、このクラスの装置に適用される装置特性および挙動から構成される。本書の目的は、テスト装置を自動化された半導体工場に統合し易くすることである。 本書は、ファクトリオートメーションコントローラの視点から見たテスト装置の動作モデルを定義することによって、その目的を達成するこの定義は，標準的なホストおよびデバイスの動作挙動を提供する。
本書では、ホスト通信リンクから見たデバイスのビューを定義するが、デバイスの内部動作は定義しない。れる。
この文書は、プロセシング状態モデル、収集イベント、アラームの文書化、リモートコマンド、変数項目、プロセスプログラム管理の処理の領域で、テスト装置の要求条件および能力を拡張しています。
下位文書:
SEMI E122.1-0703 (再承認 1109) - テスト特定装置モデル（TSEM ）のSECS-IIプロトコル仕様
参照されるSEMI規格SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II) SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM) SEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービス SEMI E37.1 — 高速 SECS メッセージ サービス単一選択セッション モード (HSMS-SS)
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