SEMI E120 - 一般的な機器モデル -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2013 年 12 月 23 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2014 年 4 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2003 年 3 月に出版されました。以前は 2010 年 3 月に出版されました。

この仕様の目的は、半導体装置の構造および関連要素の一般に適用可能なオブジェクト モデルを提供することです。このオブジェクト モデルは、次の方法で使用することを目的としています。

• 装置の外観を工場ホストに表現する方法に関する装置サプライヤーへのガイドとして。

• 他のSEMI機器通信規格で使用および拡張されるベースモデルとして。

• XML スキーマなどのテクノロジー固有のオブジェクト モデル定義を作成するためのリファレンスとして。

この仕様は、機器メーカーが機器の構造と関連要素をモデル化するために使用できる共通の構成要素のセットを提供します。

この仕様は、利用可能な通信インターフェイスを介して工場ホスト アプリケーションによって表示される機器構造のモデルに適したクラス、属性、関係、およびその他の詳細を定義します。

この仕様に含まれるモデルは、複数の (現在または将来の) 機器通信規格に必要と考えられる機器構造の機能を文書化しています。

下位文書:

SEMI E120.1-0414 - COMMON EQUIPMENT MODEL(CEM) のXML 形式

SEMI E121 — 半導体製造アプリケーションのための XML のスタイルと使用法に関するガイド

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