{"product_id":"e11700-semi-e117-レチクルロードポートの仕様","title":"E11700 - SEMI E117 - レチクルロードポートの仕様","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0pt 21pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e本基準は、global Physical Interfaces and Carriers \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003eCommittee \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで技術\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e的に承認されています。現\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e版は2010年4月30\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e日、global Audits and Reviews Subcommittee \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003eにて\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e発行が承認されました。 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e.org \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで入手可能となる可能性があります。 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e初版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e2002年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e11 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月発行、前版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e2004 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e11 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月発行。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c?xml:namespace prefix = o ns = \"urn:schemas-microsoft-com:office:office\" \/\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0pt; mso-list: none\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-no-proof: yes\"\u003eこの仕様は，レチクルストッカー，リソー露光機器，レチクル検査装置のレチクルロードポートの寸法の要求条件および\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA; mso-no-proof: yes\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-no-proof: yes\"\u003eオプションを\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e定義する。 \u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA; mso-no-proof: yes\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-no-proof: yes\"\u003e使いやすく、手動ロード装置の人間工学の要求条件を満たすことを目的としています。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e \u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI E15 — ツールロードポートの仕様\u003cbr\u003eSEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様\u003cbr\u003eSEMI E19.3 — 標準メカニカル インターフェイス (SMIF)、150 mm (6 インチ) ポートの仕様\u003cbr\u003eSEMI E19.4 — 200 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF)\u003cbr\u003e SEMI E72 — 300 mm の機器の設置面積、高さ、重量の仕様とガイド\u003cbr\u003eSEMI E100 — 6 インチまたは 230 mm レチクルの輸送および保管に使用されるレチクル SMIF ポッド (RSP) の仕様\u003cbr\u003eSEMI E111 — 6 インチ レチクルの輸送および保管に使用される 150mm レチクル SMIF ポッド (RSP150) の機械仕様\u003cbr\u003eSEMI E112 — 6 インチ レチクルの輸送および保管に使用される 150 mm マルチ レチクル SMIF ポッド (MRSP150) の機械仕様\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E117-1104 (再承認 0710) - 置き換えられました","offer_id":40234339336259,"sku":"8082","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_3151d93c-93e5-4724-8711-845306b6ef8c.png?v=1776702155","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e11700-semi-e117-%e3%83%ac%e3%83%81%e3%82%af%e3%83%ab%e3%83%ad%e3%83%bc%e3%83%89%e3%83%9d%e3%83%bc%e3%83%88%e3%81%ae%e4%bb%95%e6%a7%98","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}