{"product_id":"e11600-semi-e116-装置性能トラッキングeptのための仕様","title":"E11600 - SEMI E116 - 装置性能トラッキング（EPT）のための仕様","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cb\u003e注意:\u003c\/b\u003eこの翻訳は参考コピーのみです。もしも\u003c\/span\u003e \n英語版と翻訳版の間にはいかなる違いも存在するはずです。\nその他の言語の場合は、英語版が正式な正式版です。\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e免責事項： この\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial'\u003eスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eE\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e本書は\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e2007\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e年\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e9\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e月に、誤字を訂正するため、編集上修正された。変更箇所は、表R1-13で\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eある\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eこの資料は，生産装置の基本的な性能のトラッキングを実行するための仕様についてである。基本的な性能を追跡できる。この資料は、装置供給ヤが次の事項を実行するための仕様についてである。\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif; font-size: 10pt;\"\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e \n\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e装置の基本的な状態を追跡すること\u003c\/span\u003e\n\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e（オペレーターやホスト入力は不要です）。\u003c\/span\u003e\n\n\u003c\/li\u003e\n\n \u003cli\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e主要なモジュールおよび装置全体の両方について、モジュラ式に装置の基本的な状態を追跡すること。\u003c\/span\u003e\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eモジュールと装置の両方のレベルで、装置の基本的な状態の変化をホストコンピュータにレポートすること。\u003c\/span\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\n \u003cli\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eモジュールと装置の両方のレベルで、装置がその状態にある時間ホストコンピュータにレポートすること。\u003c\/span\u003e\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eモジュールとデバイスの両方のレベルで、デバイスがタスクを実行できないようにブロックされている理由をホストコンピュータにレポートすること。\u003c\/span\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eデバイスのユーザは，ユーザの入力に依存せずにデバイスのパフォーマンスをトラッキングし，ユーザによる不正な入力やタイムリーではない入力に判断する不正確さをなくす必要がある。することは，運転の段階において手動介入を最低限にする必要がある300 mmウェーハの工場では重要である。 EPTは、ホストコンピュータがオペレータやホスト入力なしに自動的かつ一貫性の\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eある\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e方法\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eで\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e装置の性能を追跡するために必要なデバイスデータを取得できるようにする概念、動作、メッセージサービスを定義する。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eEPT\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eにより\u003c\/span\u003e，工場の管理者は，ユーザ入力に依存せずに，装置およびモジュール（プロセスチャンバなど）の両方のレベルで工場\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eの\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e装置の現状態を特定できる。\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eな状態において装置とモジュールによって消費された時間を評価し、改善の対象となる領域を特定できる。 EPTにより，工場の技術者は，装置やモジュールの動作が驚かされている理由を装置から\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e直接\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e取得EPT\u003c\/span\u003eにより，工業技術者は，装置の\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eデータ\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eを製造実行システム（\u003c\/span\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eMES:\u003c\/span\u003e \n\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial'\u003e製造実行システム）からの外部データと限界と，装置レベルとモジュールレベルでSEMI E10の状態およびSEMI E79の測定基準を正確に計算できる。 EPTにより，自動化技術者は，標準化され\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eた\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e収集\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eイベント\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eおよび\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e装置\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eの状態データを取得するためのデータ変数を使用して再利用可能なホストインターフェイスを開発できる。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eこの基準の範囲は、装置の動作状態および生産装置の基本的な装置性能を追跡するために必要なデータを定義することである。モジュールレベルでのトラッキングを簡単に、かつホストに状態情報を伝達してシンプルなデバイス性能のトラッキングを実行することを目的とします。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n \u003cli\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e具体的には，この資料は次の項目についてです。\u003c\/span\u003e\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e状態変化のトリガーを定義する装置性能トラッキング\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e(EPT:\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e機器性能追跡）\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial'\u003e状態モデル\u003c\/span\u003e\n\n\u003c\/li\u003e\n\n \u003cli\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e基本的なデバイス性能データをホストコンピュータに送信するために必要なデータ変数の仕様\u003c\/span\u003e\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e基本的なデバイス性能データをホストコンピュータに送信するために使用されるイベントメッセージの仕様\u003c\/span\u003e\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e \n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eEPT\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e準拠の要件\u003c\/span\u003e\n\n\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eこの標準では、ホストコンピュータがオペレータやホスト入力なしに自動的かつ一貫性のある方法でデバイスの性能を追跡するために必要なデバイスデータを取得できるようにする概念、動作、メッセージサービスを指定します。装置からホストコンピュータへの\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e \nE10 \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eの状態のレポートではユーザー入力が必要であり、すでに\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eE58\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eによって指定されているので，これについては指定しない。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eこのスタンダードは、\u003c\/span\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eE58\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eとは逆に、装置が\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e \nE58 \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eによる\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eE10\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eの状態をレポートすることを言うものではありません。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eこのスタンダードは、\u003c\/span\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eE10\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eおよび\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e \n\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eE79の測定基準に必要な正確なデバイス情報をオペレータやホストの入力に依存せずに提供し、ユーザによる不正な入力やタイムリーではない入力に判断する不正確さをなくす、\u003c\/span\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eE10\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eおよび\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e \nE79 \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eのための基礎的な要素である。\u003c\/span\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eEPT\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eは、装置性能追跡のモジュラアプローチを提供することによって\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e \nE10 \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eおよび\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e \n\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eE79 の両方を支援し、装置の主要モジュールの状態によって装置の状態を決定できる。 EPT は、装置やモジュールの最新動作についてタスクレベルの詳細情報を提供する\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eこと\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eによって\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e \nE79 \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eを支援し、性能測定基準をタスクレベルでトラッキングできる。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e下位標準（付属）\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E116.1-0707 -\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e装置性能トラッキング（\u003c\/span\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eEPT\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e）の\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSECS-II\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eプロトコル仕様\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cb\u003e参照SEMI規格\u003c\/b\u003e（別途購入）\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E10 — の定義と測定に関する仕様\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e機器の信頼性、可用性、保守性 (RAM)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eとサービス\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E30 — 通信および制御のための汎用モデル\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e製造装置（GEM）\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E58 — 自動化された信頼性、可用性、および\u003c\/span\u003e \n保守性標準 (ARAMS): 概念、動作、およびサービス\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E79 — の定義と測定に関する規格\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e装置の生産性\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E90 — 基板トラッキングの仕様\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E98 — オブジェクトベースの暫定標準\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e機器モデル (OBEM)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E101 — EFEM 機能構造の暫定ガイド\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eモデル\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E116-0707E - 置き換えられました","offer_id":40234348150851,"sku":"8081","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_S_ccb264d8-9775-43c1-96f4-6bb23cc406b1.png?v=1776702156","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e11600-semi-e116-%e8%a3%85%e7%bd%ae%e6%80%a7%e8%83%bd%e3%83%88%e3%83%a9%e3%83%83%e3%82%ad%e3%83%b3%e3%82%b0ept%e3%81%ae%e3%81%9f%e3%82%81%e3%81%ae%e4%bb%95%e6%a7%98","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}