SEMI E116 - 装置性能トラッキング（EPT）のための仕様 -

Abstract

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E 本書は2007 年9 月に、誤字を訂正するため、編集上修正された。変更箇所は、表R1-13である。

この資料は，生産装置の基本的な性能のトラッキングを実行するための仕様についてである。基本的な性能を追跡できる。この資料は、装置供給ヤが次の事項を実行するための仕様についてである。 

• 装置の基本的な状態を追跡すること （オペレーターやホスト入力は不要です）。
• 主要なモジュールおよび装置全体の両方について、モジュラ式に装置の基本的な状態を追跡すること。
• モジュールと装置の両方のレベルで、装置の基本的な状態の変化をホストコンピュータにレポートすること。
• モジュールと装置の両方のレベルで、装置がその状態にある時間ホストコンピュータにレポートすること。
• モジュールとデバイスの両方のレベルで、デバイスがタスクを実行できないようにブロックされている理由をホストコンピュータにレポートすること。

デバイスのユーザは，ユーザの入力に依存せずにデバイスのパフォーマンスをトラッキングし，ユーザによる不正な入力やタイムリーではない入力に判断する不正確さをなくす必要がある。することは，運転の段階において手動介入を最低限にする必要がある300 mmウェーハの工場では重要である。 EPTは、ホストコンピュータがオペレータやホスト入力なしに自動的かつ一貫性のある方法で装置の性能を追跡するために必要なデバイスデータを取得できるようにする概念、動作、メッセージサービスを定義する。

 

EPT により，工場の管理者は，ユーザ入力に依存せずに，装置およびモジュール（プロセスチャンバなど）の両方のレベルで工場の装置の現状態を特定できる。 な状態において装置とモジュールによって消費された時間を評価し、改善の対象となる領域を特定できる。 EPTにより，工場の技術者は，装置やモジュールの動作が驚かされている理由を装置から直接取得EPTにより，工業技術者は，装置のデータを製造実行システム（ MES: 製造実行システム）からの外部データと限界と，装置レベルとモジュールレベルでSEMI E10の状態およびSEMI E79の測定基準を正確に計算できる。 EPTにより，自動化技術者は，標準化された収集イベントおよび装置の状態データを取得するためのデータ変数を使用して再利用可能なホストインターフェイスを開発できる。

この基準の範囲は、装置の動作状態および生産装置の基本的な装置性能を追跡するために必要なデータを定義することである。モジュールレベルでのトラッキングを簡単に、かつホストに状態情報を伝達してシンプルなデバイス性能のトラッキングを実行することを目的とします。

• 具体的には，この資料は次の項目についてです。
• 状態変化のトリガーを定義する装置性能トラッキング(EPT: 機器性能追跡） 状態モデル
• 基本的なデバイス性能データをホストコンピュータに送信するために必要なデータ変数の仕様
• 基本的なデバイス性能データをホストコンピュータに送信するために使用されるイベントメッセージの仕様
• EPT 準拠の要件

この標準では、ホストコンピュータがオペレータやホスト入力なしに自動的かつ一貫性のある方法でデバイスの性能を追跡するために必要なデバイスデータを取得できるようにする概念、動作、メッセージサービスを指定します。装置からホストコンピュータへのSEMI E10 の状態のレポートではユーザー入力が必要であり、すでにSEMI E58 によって指定されているので，これについては指定しない。

このスタンダードは、 SEMI E58 とは逆に、装置がSEMI E58 によるSEMI E10 の状態をレポートすることを言うものではありません。

このスタンダードは、 SEMI E10 およびSEMI E79の測定基準に必要な正確なデバイス情報をオペレータやホストの入力に依存せずに提供し、ユーザによる不正な入力やタイムリーではない入力に判断する不正確さをなくす、 SEMI E10 およびSEMI E79 のための基礎的な要素である。 EPT は、装置性能追跡のモジュラアプローチを提供することによってSEMI E10 およびSEMI E79 の両方を支援し、装置の主要モジュールの状態によって装置の状態を決定できる。 EPT は、装置やモジュールの最新動作についてタスクレベルの詳細情報を提供することによってSEMI E79 を支援し、性能測定基準をタスクレベルでトラッキングできる。

下位標準（付属）

SEMI E116.1-0707 - 装置性能トラッキング（ EPT ）のSECS-II プロトコル仕様

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E10 — の定義と測定に関する仕様 機器の信頼性、可用性、保守性 (RAM)

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、 とサービス

SEMI E30 — 通信および制御のための汎用モデル 製造装置（GEM）

SEMI E58 — 自動化された信頼性、可用性、および 保守性標準 (ARAMS): 概念、動作、およびサービス

SEMI E79 — の定義と測定に関する規格 装置の生産性

SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様

SEMI E98 — オブジェクトベースの暫定標準 機器モデル (OBEM)

SEMI E101 — EFEM 機能構造の暫定ガイド モデル

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