{"product_id":"e11200-semi-e112-specification-for-a-150-mm-multiple-reticle-smif-pod-mrsp150-used-to-transport-and-store-multiple-6-inch-reticles","title":"E11200 - SEMI E112 - 複数の 6 インチ レチクルの輸送および保管に使用される 150 mm マルチ レチクル SMIF ポッド (MRSP150) の仕様","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、Physical Interfaces \u0026amp; Carriers Global Technical Committee によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 5 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 10 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版発行は 2001 年 11 月。以前は 2017 年 1 月に発行されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、集積回路 (IC) 製造施設内で 6 つの 6 インチ レチクルを輸送および保管するために使用される 150 mm マルチ レチクル SMIF ポッド (MRSP150) を指定します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、すべての機械的インターフェースにおけるモジュール性と互換性を確保しながら、イノベーションに最小限の制限を設ける適切なレベルの仕様を設定することを目的としています。この仕様に記載されている要件のほとんどは、必要な表面がほとんどない最大または最小の寸法の形式になっています。 MRSP150 の物理インターフェイスのみが指定されています。この仕様には、材料要件や微小汚染の制限は記載されていません。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの仕様のペリクル排除体積は、レチクルの全長とペリクルの最大幅 124 mm までのペリクルを収容します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e MRSP150 には、次のコンポーネント、サブコンポーネント、およびその他の機能があります。 「●」記号は\u003ci\u003e必須の\u003c\/i\u003eコンポーネントまたは機能を示し、「◊」記号は\u003ci\u003eオプションの\u003c\/i\u003eコンポーネントまたは機能を示します。\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e上\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003eロボットハンドリングフランジ\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003eインテリア\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e6 つの 6 インチ レチクルをサポート\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003eレチクルキャプチャ\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003eレチクル接触面\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003eエンドエフェクター除外ボリューム\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e2 つの安全レール除外ボリューム\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003eペリクル排除ボリューム\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e横方向の拘束\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003eレチクルバックストップ\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e側面\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e両側の基準面に平行な側面に 2 つのサイド ハンドリング フランジ\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e2面取り扱い除外ボリューム\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003eRFID配置ゾーン\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e下\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003eSEMI E19.3で定義されているSMIFと互換性のあるドア\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003eポッドのラッチピンの穴\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e両側の基準面と平行な側面に 2 つのコンベア レール\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e \u003cp\u003eSEMI E19.3 — 標準メカニカルインターフェイス (SMIF) 用の 150 mm (6 インチ) ポートの仕様\u003cbr\u003eSEMI E30.1 — 特定機器モデルの検査およびレビューの仕様 (ISEM)\u003cbr\u003e SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるボックスおよびポッドの機械仕様\u003cbr\u003eSEMI E111 — 6 インチ レチクルの輸送および保管に使用される 150mm レチクル SMIF ポッド (RSP150) の仕様\u003cbr\u003eSEMI P5 — ペリクルの仕様\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E112-1017 - Inactive","offer_id":43106904571971,"sku":"3728","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E112-0117 - 置き換えられました","offer_id":40234260791363,"sku":"7829","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E112-1213 - 置き換えられました","offer_id":40234260856899,"sku":"7779","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E112-1106 - 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