{"product_id":"e11100-semi-e111-specification-for-a-150-mm-reticle-smif-pod-rsp150-used-to-transport-and-store-a-6-inch-reticle","title":"E11100 - SEMI E111 - 6 インチ レチクルの輸送および保管に使用される 150 mm レチクル SMIF ポッド (RSP150) の仕様","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eこの規格は、集積回路 (IC) 製造施設内で 6 インチ レチクルを輸送および保管するために使用される 150 mm レチクル SMIF ポッド (RSP150) を指定します。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eこの規格は、すべての機械的インターフェースにおけるモジュール性と互換性を確保しながら、イノベーションに最小限の制限を設ける適切なレベルの仕様を設定することを目的としています。この仕様に記載されている要件のほとんどは、必要な表面がほとんどない最大または最小の寸法の形式になっています。 RSP150 の物理インターフェイスのみが指定されています。この仕様には、材料要件や微小汚染の制限は記載されていません。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eこの仕様のペリクル除外ボリュームは、レチクルの全長と最大ペリクル幅 124 mm までのペリクルを収容します。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eRSP150 には、次のコンポーネント、サブコンポーネント、およびその他の機能があります。 「●」記号は\u003ci\u003e必須の\u003c\/i\u003eコンポーネントまたは機能を示し、「◊」記号は\u003ci\u003eオプションの\u003c\/i\u003eコンポーネントまたは機能を示します。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e上\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eロボットハンドリングフランジ\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eインテリア\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e1つの6インチレティクルをサポート\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eレチクルキャプチャ\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eレチクル接触面\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eエンドエフェクター除外ボリューム\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e2 つの安全レール除外ボリューム\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eペリクル排除ボリューム\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e横方向の拘束\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e2レティクルバックストップ\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e側面\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e両側の基準面に平行な側面に 2 つのサイド ハンドリング フランジ\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e2面取り扱い除外ボリューム\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eRFID配置ゾーン\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e下\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eSEMI E19.3で定義されているSMIFと互換性のあるドア\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eポッドのラッチピンの穴\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e両側の基準面に平行な側面に 2 つのコンベア レール\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eSEMI E19.3 — 標準メカニカルインターフェイス (SMIF) 用の 150 mm (6 インチ) ポートの仕様\u003c\/font\u003e \u003cbr\u003eSEMI E30.1 — 特定機器モデルの検査およびレビューの仕様 (ISEM)\u003cbr\u003e SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるボックスおよびポッドの機械仕様\u003cbr\u003eSEMI P5 — ペリクルの仕様\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E111-1017 - Inactive","offer_id":43106904604739,"sku":"3727","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E111-0117 - 置き換えられました","offer_id":40234250240067,"sku":"7828","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E111-1213 - 置き換えられました","offer_id":40234250305603,"sku":"7778","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E111-1106 - 置き換えられました","offer_id":40234250436675,"sku":"7186","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E111-0305 - 置き換えられました","offer_id":40234250469443,"sku":"7184","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E111-1104 - 置き換えられました","offer_id":40234250502211,"sku":"7185","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E111-0304E - 置き換えられました","offer_id":40234250534979,"sku":"8800","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E111-0304 - 置き換えられました","offer_id":40234250567747,"sku":"8799","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E111-0303E - 置き換えられました","offer_id":40234250600515,"sku":"8798","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E111-0303 - 置き換えられました","offer_id":40234250633283,"sku":"8797","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E111-0302 - 置き換えられました","offer_id":40234250666051,"sku":"8796","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E111-1101 - 置き換えられました","offer_id":40234250371139,"sku":"8284","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_d34d49ec-9b9c-4850-b0d7-acf4fc051b8c.png?v=1776702895","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e11100-semi-e111-specification-for-a-150-mm-reticle-smif-pod-rsp150-used-to-transport-and-store-a-6-inch-reticle","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}