{"product_id":"e10900-semi-e109-レチクルおよびポッド管理に関する仕様rpms","title":"E10900 - SEMI E109 - レチクルおよびポッド管理に関する仕様(RPMS)","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e本仕様は、Global Information \u0026amp; Control Committee で技術的に承認されたもので、North American Information \u0026amp; Control \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eCommittee\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003eが直接責任を負うものである。 \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eて承認されている。2005年2月にまずwww.semi.orgで入手可能となり、2005年3月発行に続く。初版\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eは2001年7\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月に発行。前版は2004\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年11\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月発行。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本書はリソグラフィ装置，レチクル検査装置，およびベアレチクルストッカー装置の標準化された挙動を規定する。は装置間での自動およびマニュアルレチクルポッド搬送，レチクルポッドへ／からのレチクル搬送，装置内でのレチクルの移動，レチクルポッドおよびレチクル双方の識別および検証，レチクルの検査および認証，およびレチクル使用度の追跡などその他の関連情報、以上の調整、実行、および完了などが含まれます。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本書はレシクルを扱う装置でのホスト・装置間通信に関する当面の基準である。\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本書の範囲は自動およびマニュアルのレチクルポッド搬送，レチクルポッドへ／からのレチクル搬送，装置内でのレチクルの移動，ReticleIDの識別および検証，レチクルの検査および認証，およびレチクル使用度のトラッカーについてホスト具体的にいうと、本書では下記に関するホストと装置の相互作用を定義する状態モデルおよび規範を規定することである。している：\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eAMHSビークルと、製造装置、ベアレチクルストッカー、およびレチクル検査装置レチクルロードポートの間でのレシクルポッド搬送。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eリソグラフィ装置内部のレチクルライブラリスペースへの／からのレチクル搬送。\u003c\/font\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e装置およびレチクルロードポートアクセスモードの移行\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eレチクルポッドとロードポートとの思い。\u003c\/font\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eレチクル\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eポッドID\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eの検証およびレチクルポッドスロットマップの検証。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e下位文書:\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eSEMI E109.1-0704 -\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eレチクルおよびPOD\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e管理（RPMS \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e）に対するSEC-II\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eプロトコルの暫定仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e \u003cfont\u003eSEMI E15 — ツールロードポートの仕様\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E30 — SEMI 機器の通信および制御のための汎用モデル (GEM)\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e \u003cfont\u003eSEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E39.1 — オブジェクト サービス標準 (OSS) の SECS-II プロトコル\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E41 — 例外管理 (EM) 規格\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E53 — イベントレポート\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I\/O インターフェイスの仕様\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E99 — キャリア ID 読み取り\/書き込み機能規格\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E100 — 6 インチまたは 230 mm レチクルの輸送および保管に使用されるレチクル SMIF ポッド (RSP) の仕様\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E109-0305 - 置き換えられました","offer_id":40234339401795,"sku":"8079","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_S_24fa992e-d95d-49b0-8f93-d79858de8a04.png?v=1776702158","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e10900-semi-e109-%e3%83%ac%e3%83%81%e3%82%af%e3%83%ab%e3%81%8a%e3%82%88%e3%81%b3%e3%83%9d%e3%83%83%e3%83%89%e7%ae%a1%e7%90%86%e3%81%ab%e9%96%a2%e3%81%99%e3%82%8b%e4%bb%95%e6%a7%98rpms","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}