{"product_id":"e10600-semi-e106-300-mm物理的インタフェースおよびキャリアに関するsemiスタンダードオーバービューガイド","title":"E10600 - SEMI E106 - 300 mm物理的インタフェースおよびキャリアに関するSEMI基準オーバービューガイド","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0pt 21pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e本基準は、Global Physical Interfaces and Carriers \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eCommittee \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで技術\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e的に承認されています。現版は 2010 年 4 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月 30\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e日、Global Audits and Reviews Subcommittee \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003eにて\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e発行が承認されました。 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e.orgで入手可能となる。初版は2000年10月発行、前版は2004年11月発行。本書は、 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003eSEMI PR6-0200 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eがそのまま置き換えられたものである。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c?xml:namespace prefix = o ns = \"urn:schemas-microsoft-com:office:office\" \/\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0pt 21pt\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0pt\"\u003e \u003cb\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e注意：\u003c\/span\u003e\u003c\/b\u003e \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e2010 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年、投票により本書の改訂が承認されました。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0pt\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0pt; mso-list: none\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e本書は、300 mm キャリアと製造設備のユーザおよびサプライヤが 300mm の物理的インターフェースおよびキャリアに関するSEMI基準における複雑な相互依存を見極め、どの基準がどの製品に適応される判断をするのか\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e図1に示される通り，本基準類は限度相互の関連度が高く，複雑な依存関係を有，かつ順序だった番号（時系列的に\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e200mm \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e基準からの）を継承するものである。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様\u003cbr\u003eSEMI E10 — 機器の信頼性、可用性、保守性 (RAM) の定義と測定に関する仕様\u003cbr\u003eSEMI E15 — ツールロードポートの仕様\u003cbr\u003eSEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様\u003cbr\u003eSEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)\u003cbr\u003e SEMI E19.4 — 200 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF)\u003cbr\u003e SEMI E21.1 — クラスターツールモジュールインターフェイス 300 mm: 機械インターフェイスおよびウェーハ搬送標準\u003cbr\u003eSEMI E22.1 — クラスターツールモジュールインターフェース 300 mm: トランスポートモジュールエンドエフェクター除外容積標準\u003cbr\u003eSEMI E23 — カセット転送パラレル I\/O インターフェイスの仕様\u003cbr\u003eSEMI E25 — クラスタツールモジュールインターフェース: モジュールアクセスガイドライン\u003cbr\u003eSEMI E26.1 — ラジアル クラスター ツール フットプリント 300 mm 標準\u003c\/font\u003e \u003cbr\u003eSEMI E45 — 気相分解-全反射 X 線分光法 (VPD-TXRF)、VPD-原子吸光分析法 (VPD-AAS)、または VPD\/誘導結合プラズマ質量分析法を使用した、微小環境からの無機汚染の測定のための試験方法(VPD\/ICP-MS)\u003cbr\u003e SEMI E46 — イオン移動度分析法 (IMS) を使用した微小環境からの有機汚染の測定のための試験方法\u003cbr\u003eSEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるボックスおよびポッドの暫定機械仕様\u003cbr\u003eSEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせと支持に使用されるキネマティックカップリングの機械仕様\u003cbr\u003eSEMI E62 — 300 mm 前開きインターフェース機械規格 (FIMS) の暫定仕様\u003cbr\u003eSEMI E63 — 300 mm ボックス オープナー\/ローダーとツール標準 (BOLTS-M) インターフェイスの機械仕様\u003cbr\u003eSEMI E64 — SEMI E15.1 ドッキング インターフェイス ポートへの 300 mm カートの仕様\u003cbr\u003eSEMI E70 — 工具適応プロセスのガイド \u003cbr\u003eSEMI E72 — 300 mm の機器の設置面積、高さ、重量の仕様とガイド\u003cbr\u003eSEMI E82 — ベイ間\/ベイ内 AMHS SEM (IBSEM) の仕様\u003cbr\u003eSEMI E83 — 300 mm PGV 機械式ドッキング フランジの仕様\u003cbr\u003eSEMI E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I\/O インターフェイスの仕様\u003cbr\u003eSEMI E85 — 物理 AMHS ストッカからベイ間搬送システムへの相互運用性の仕様\u003cbr\u003eSEMI E92 — ツール相互運用性規格 (BOLTS\/Light) に準拠した 300 mm の軽量およびコンパクトなボックス オープナー\/ローダーの仕様)\u003cbr\u003e SEMI E99 — キャリア ID リーダー\/ライター機能標準: 概念、動作、およびサービスの仕様\u003cbr\u003eSEMI E99.1 — キャリア ID リーダー\/ライター機能規格の SECS-I および SECS-II プロトコルの仕様\u003cbr\u003eSEMI E100 — 6 インチまたは 230 mm レチクルの輸送および保管に使用されるレチクル SMIF ポッド (RSP) の仕様\u003cbr\u003eSEMI E101 — EFEM 機能構造モデルのガイド\u003cbr\u003eSEMI E103 — FOUPをエミュレートする300 mm枚葉ボックスシステムの暫定機械仕様 \u003cbr\u003eSEMI G74 — 300 mm ウェーハ用テープフレームの仕様\u003cbr\u003eSEMI G77 — 300 mm ウェーハ用フレームカセットの仕様\u003cbr\u003eSEMI M1.15 — 300 mm 研磨単結晶シリコンウェーハ (ノッチ付き) の標準\u003cbr\u003eSEMI M8 — 研磨単結晶シリコンテストウェーハの仕様\u003cbr\u003eSEMI M28 — 開発中の直径 300 mm 研磨単結晶シリコン ウェーハの仕様\u003cbr\u003eSEMI M29 — 300 mm 配送ボックスの仕様\u003cbr\u003eSEMI M31 — 300 mm ウェーハの輸送および出荷に使用される前開き輸送ボックスの暫定機械仕様\u003cbr\u003eSEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン\u003cbr\u003eSEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン\u003cbr\u003eSEMI S11 — 半導体製造装置のミニ環境に関する環境、安全、および健康に関するガイドライン\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E106-1104 (撤回 0710) - 撤回","offer_id":40234339532867,"sku":"8077","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_822cef8d-6d0c-4d70-93a1-c9c99dd2ff81.png?v=1776702159","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e10600-semi-e106-300-mm%e7%89%a9%e7%90%86%e7%9a%84%e3%82%a4%e3%83%b3%e3%82%bf%e3%83%95%e3%82%a7%e3%83%bc%e3%82%b9%e3%81%8a%e3%82%88%e3%81%b3%e3%82%ad%e3%83%a3%e3%83%aa%e3%82%a2%e3%81%ab%e9%96%a2%e3%81%99%e3%82%8bsemi%e3%82%b9%e3%82%bf%e3%83%b3%e3%83%80%e3%83%bc%e3%83%89%e3%82%aa%e3%83%bc%e3%83%90%e3%83%bc%e3%83%93%e3%83%a5%e3%83%bc%e3%82%ac%e3%82%a4%e3%83%89","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}