{"product_id":"e10400-semi-e104-specification-for-integration-and-guideline-for-calibration-of-low-pressure-particle-monitor","title":"E10400 - SEMI E104 - 低圧粒子モニターの統合仕様および校正ガイドライン","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cspan style='font-family: \"Microsoft Sans Serif\"; font-size: small;'\u003e注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e低圧および真空アプリケーションでの in situ パーティクル モニタリング (ISPM; ウエハが処理チャンバ内にある間に実行されるパーティクル測定) を使用すると、欠陥、プロセス、および機器の管理に次のような多くの利点がもたらされます。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eオフラインテストに使用されるパーティクルテストウェーハを削減し、オペレータの時間を節約します。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\n\u003cp\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eプロセスの最適化とリアルタイムの特性評価、\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e高度なプロセス制御、\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\n\u003cp\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e高度な機器制御、\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\n\u003cp\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eプロセスチャンバーの状態を監視し、\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\n\u003cp\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e洗浄手順とメンテナンスの最適化。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\n\u003cp\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eしたがって、ISPM は、より多くの機器の可用性と生産の迅速な立ち上げを実現し、所有コストを削減し、品質と歩留まりを向上させます。これらの目標を達成するには、ISPM を新規または既存のプロセス装置に簡単に統合し、粒子データの取得と分析を自動化する必要があります。 ISPM センサーはプロセスに悪影響を及ぼしてはならず、測定値は主要な粒子の流れを表す必要があります。センサーは、容量面で利点を得るために、半導体プロセス装置全体に対して SEMI E10 で定義されているパラメータへの悪影響を最小限に抑えるように設計する必要があります。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eこの規格は、半導体プロセス装置に統合された低圧粒子検出器の使用のための動作条件、機械的、電気的、および通信インターフェースを規定することを目的としています。これらのセンサーの基準校正のガイドラインは、異なるセンサーによる測定値間の相関関係をサポートすることを目的としています。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eこの規格は、半導体製造装置における減圧および真空条件下での粒子測定に適用されます。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp class=\"StdsText\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eSEMI C6.5 — パイプラインガスとして供給されるグレード 10\/0.2 の窒素 (N \u003csub style=\"\"\u003e2\u003c\/sub\u003e ) およびアルゴン (Ar) の粒子仕様\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"StdsText\" style=\"\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eSEMI C6.6 — パイプラインガスとして供給されるグレード 10\/0.1 の窒素 (N \u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e ) およびアルゴン (Ar) の粒子仕様\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"StdsText\" style=\"\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eSEMI E4 — SEMI 機器通信標準 1 メッセージ転送 (SECS-I)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"StdsText\" style=\"\"\u003e \u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eSEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"StdsText\" style=\"\"\u003e \u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eSEMI E10 — 機器の信頼性、可用性、保守性（RAM）および使用率の定義と測定に関する仕様\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"StdsText\" style=\"\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eSEMI E33 — 半導体製造装置の電磁両立性 (EMC) に関するガイド\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"StdsText\" style=\"\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eSEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービス\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"StdsText\" style=\"\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eSEMI E54 — センサー\/アクチュエーター ネットワークの仕様\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp class=\"StdsText\" style=\"\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eSEMI E54.10 — In-Situ粒子モニターデバイス用のセンサー\/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"StdsText\" style=\"\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eSEMI F6 — 有害ガス配管システムの二次封じ込めに関するガイド\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E104-0303 (再承認 0211) - 非アクティブ","offer_id":40234330882115,"sku":"5840","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E104-0303 - 置き換えられました","offer_id":40234331177027,"sku":"7178","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_26feb69a-c2b3-4fb2-84d2-4efcc6c163bf.png?v=1776702338","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e10400-semi-e104-specification-for-integration-and-guideline-for-calibration-of-low-pressure-particle-monitor","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}