{"product_id":"e10300-semi-e103-mechanical-specification-for-a-300-mm-single-wafer-box-system-that-emulates-a-foup","title":"E10300 - SEMI E103 - FOUPをエミュレートする300 mm枚葉ボックスシステムの機械仕様","description":"\u003cp\u003eこの規格は、世界的な物理インターフェイスおよびキャリア委員会によって技術的に承認されました。この版は、2010 年 8 月 27 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。最初は 2010 年 10 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 2000 年 6 月に出版されました。以前は 2004 年 7 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e注意: この文書は 2010 年に投票され、撤回が承認されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eこの規格は、プロセスまたは計測機器上の FIMS インターフェイスを備えたロード ポート (またはバッファ) との間の機械的インターフェイスのキャリア側と、1 枚のウエハ (テスト ウエハなど) のみを保持しアダプタに適合するボックスを含むシステムを指定します。シングルウェーハインターフェイス（SWIF）と呼ばれるメカニズム。このシステムは、装置にとっては 300 mm FOUP であるように見えます (ただし、中央のウェーハの周囲の容積のみがアクセス可能である場合があります)。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様 \u003cbr\u003eSEMI E15 — ツールロードポートの仕様\u003cbr\u003eSEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)\u003cbr\u003e SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるボックスおよびポッドの機械仕様\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E103-0704 (撤回 1110) - 撤回","offer_id":40234339434563,"sku":"8076","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_8d22b23c-16e1-463c-8660-9264ddfe9049.png?v=1776702160","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e10300-semi-e103-mechanical-specification-for-a-300-mm-single-wafer-box-system-that-emulates-a-foup","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}