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SEMI E102 - CIMフレームワークマテリアル搬送・フォールトコンポーネントに関する暫定仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本暫定使用は、グローバル情報管理委員会で技術的に承認されている。現版はグローバル監査およびレビュー小委員会で2006年5 月16日に発行が承認された。 orgで、 そして2006年7月にCD-ROMで入手可能となります。初版は2000年6月発行。
半導体工場では，ストッカ折りたたみおよび工程間搬送に高い基本性能が必要である。 この基本性能に加えて、300mmウェーハキャリアのサイズが大きくなったことおよびその重量が増加したことで必要となった人間のおよび安全要求事項を考慮すると、また工程内搬送が必要となる。 製造装置へ、製造装置からの材料の完全自動化を経済的に実現するため、これらのストッカ、工程間搬送および工程内搬送システムは、お互いに、そしてまた、その工場の「製造管理システム（ MES ） 」と完全に統合する必要がある。
自動マテリアルハンドリングシステム（ AMHS ）装置の基本的な要求事項は，工場MESとの効率的な統合である。そのため，本基準の目的は，図1に示しているとおり，相互運用性を持つAMHSシステムをメーカーは、AMHS統合システムの目に見える動作および工場MESとのインターフェースを規定するSEMI基準を求めている。本基準の目的は、これらのインターフェースおよびCIMフレームワークの一部としてMESとAMHSシステム間の連係を規定することである。 AMHSという言葉は自動マテリアルハンドリングをサポートする装置およびシステムを幅広く指すものとして一般的に使われているが、 CIMフレームワークは， AMHS 性能一一致に対する MESの標準インターフェースを表すマテリアル転送・コンポーネント（ MTSC ）と呼ぶソフトウェアコンポーネントを規定する。
本スタンダードは、（他のCIMフレームワークコンポーネントで代表される）工場とマテリアルトラッキング・フォールトコンポーネント間での実行時の相互連係に対し、製造管理システム（ MES ）が必要とする共通インターフェースを提供するマテリアル搬送およびフォールド装置の構造とトラッキングを支援するインタフェースの一部は，CIM フレームワークの装置トラッキング・メンテナンスコンポーネントが担当する。する。
マテリアル搬送・折り畳みコンポーネントの範囲には，下記のインターフェースが含まれる。
- 注：配送時間予測のためのインターフェースは、本暫定スタンダードに注記したように、まだ決定していない部分として今後の活動を必要としている。
- マテリアルを特定の場所に移動する搬送ジョブを実行し、監視する。
- ジョブが実行可能かどうか検証する：マテリアルは存在か、目的地に到達可能か、折りたたみロードポート容量が使用可能かおよびジョブを実行するのに必要なマテリアル移動資源（車、保管スペースなど）は十分であるか。
- 内部マテリアル移動およびフォールドを実行するため、AMHS 装置コントローラに作動要求を行う。の低レベルの基準を使用する。
- 搬送ジョブの実行および履歴についてのデータを収集し、記録する。
- 装置のイベントおよび故障検出を捕捉、記録、解釈および応答する。
- MESレベルのジョブステータスイベントおよびマテリアルな場所変更イベントを発生させる。
- システム中にあるマテリアルについてその所在位置およびその搬送履歴を報告する。
- マテリアルのハンドオフ、ハンドシェイクプロトコルに対するマシンおよびポート インターフェイスと連係する。
自動マテリアルハンドリングシステム（ AMHS ）は、どの半導体工場でも重要な部分であり、通常実施されており、別個の論理ソフトウェア要素として製造管理システム（ MES ）と統合されている。 AMHS 装置のためのシステムコンソール（ソフトウェア）および転送、折り畳みマシン（ハードウェア）で構成されています。この伝統に従って、CIM フレームワークは、AMHS を「ブラックボックス」と互換性があります。 に見えるが，そのシステム内部のや動きコントロールはAMHSサプライヤの責任であって， MESの領域ではない。 規定している。
参照されるSEMI規格SEMI E81 — CIM フレームワーク ドメイン アーキテクチャの暫定仕様
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