{"product_id":"e10100-semi-e101-guide-for-efem-functional-structure-model","title":"E10100 - SEMI E101 - EFEM 機能構造モデルのガイド","description":"\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e300mm世代の半導体工場では生産性の向上が最優先の課題となっており、その実現にはコンピュータ統合製造技術やファクトリーオートメーション（CIM\/FA）技術の重要性がますます高まっています。 CIM\/FAインフラを短期間・低コストで提供するには、これらの技術の標準化も必要です。標準は広範囲の生産設備、通信ハードウェア、およびソフトウェア ツールをカバーする必要があるため、標準に高度な互換性があることが非常に重要です。互換性を向上させるために、このガイドでは、工場のマテリアル ハンドリング システムとプロセス装置の間のインターフェイスでキャリアと基板を処理する装置フロント エンド モジュール (EFEM) の機能構造モデルを提供します。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこのガイドの主な目的は次のとおりです。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsListNumbered\"\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e1. \u003cspan style='font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: normal; font-family: \"Times New Roman\";'\u003e  \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eEFEM の機能と、機能要素 (特定の機能の役割を持つコンポーネント) 間の関連インターフェイスについての共通の理解を提供します。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsListNumbered\"\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e2. \u003cspan style='font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: normal; font-family: \"Times New Roman\";'\u003e  \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eEFEM における関数の階層構造とそのインターフェイスについての共通の理解を提供します。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsListNumbered\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e3. \u003cspan style='font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: normal; font-family: \"Times New Roman\";'\u003e  \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e保守、調整、制御に使用される可能性のある単位についての共通の理解を提供します。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsListNumbered\"\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e4. \u003cspan style='font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: normal; font-family: \"Times New Roman\";'\u003e  \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eEFEM の機能要素と既存の標準の間のマップを提供します。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eSEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E15 — ツールロードポートの仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E23 — カセット転送パラレル I\/O インターフェイスの仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用される FOUPS の機械仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせと支持に使用されるキネマティックカップリングの機械仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E64 — SEMI E15.1 ドッキング インターフェイス ポートへの 300 mm カートの仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I\/O インターフェイスの仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style=\"line-height: 14.2667px; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E101-1104 (再承認 0710) - 非アクティブ","offer_id":40234315055171,"sku":"5836","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E101-1104 - 置き換えられました","offer_id":40234315153475,"sku":"7176","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_59ae33be-dd80-4770-a07c-6f72532d7c79.png?v=1776702341","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e10100-semi-e101-guide-for-efem-functional-structure-model","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}