{"product_id":"e09800-semi-e98-オブジェクトベース装置モデルobem暫定スタンダード","title":"E09800 - SEMI E98 - オブジェクトベース装置モデル（OBEM）暫定基準","description":"\u003cspan style=\"font-size: 10pt;\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\" style=\"font-size: medium;\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"arial\"\u003e注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"text-align: start;\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"arial\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cspan style=\"font-size: small;\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cspan style=\"font-size: small;\"\u003e注意：\u003c\/span\u003e \u003cfont size=\"2\" style=\"font-size: small;\"\u003eSEMI \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eE98は、 \u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E98.1\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eの改訂を反映して、 \u003cfont size=\"2\"\u003e0309\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eの出版サイクルで更新されました。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"font-size: small;\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"arial\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" 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style=\"\"\u003e \u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"arial\"\u003eオブジェクトベース装置モデル（ \u003cfont size=\"2\"\u003eOBEM \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e）の目的は、次の事項を含む：\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cul style=\"\"\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e \n\u003cfont face=\"arial\"\u003e多重プロセス装置および他の複合装置へのインタフェースについての標準モデルを定義する\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cfont face=\"arial\"\u003e通信がコンポーネントに関する事項を「検討」できるように、標準装置を定義する。\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e装置モデルが，OBEM適合装置を機械\u003cfont size=\"2\"\u003eオブジェクトに接続することにより，SEMI E81 CIM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e構成システムに簡単に統合できるように対応します。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n \u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eオブジェクトベース装置モデル（ OBEM ）標準の目的は、装置自体を含み、通常、装置を構成する物理的および論理的オブジェクトの共通に見られるタイプの定義、サービス、および挙動を、ファクトリとの通信の際標準化されたオブジェクトの定義を使って装置はその構成を工場側に対して開示できる，工場側は装置の内部が見えるようになる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e \u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e本規定は暫定基準であり、半導体工場内の製造装置の統合を実現するための概念、挙動、およびサービスを定義するものである。製造装置，すべてが含まれる。サービスによっては材料搬送系に適用できない場合もある。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eOBEM仕様を暫定版でなくするためには、以下の項目を完了しなければなりません。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003col style=\"\"\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\" style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli style=\"\"\u003e \u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e§ 11.2 —\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eアクセス管理\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\n \u003cli style=\"\"\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\" face=\"arial\"\u003e§ 14 — OBEM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003eへの準拠\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ol\u003e\n\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e詳細\u003cfont size=\"2\"\u003eな標準も将来追加する予定で、SECS-II \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e、CORBA \u003cfont size=\"2\"\u003eIDLおよびDCOM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eのような異なる製品に対して\u003cfont size=\"2\"\u003eOBEM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e検討を規定する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" 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size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"arial\"\u003eSEMI E98.1-1102 (再承認0309) - オブジェクト基盤装置モデルのための\u003cfont size=\"2\"\u003eSECS-II\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eプロトコル用暫定仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cb style=\"\"\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003eSEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)\u003cbr\u003e SEMI E10 — 機器の信頼性、可用性、保守性 (RAM) の定義と測定に関する規格\u003cbr\u003eSEMI E15 — ツールロードポートの仕様\u003cbr\u003eSEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの暫定仕様\u003cbr\u003eSEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)\u003cbr\u003e SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス\u003cbr\u003eSEMI E40 — 処理管理の標準\u003cbr\u003eSEMI E41 — 例外管理 (EM) 規格\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cbr\u003eSEMI E42 — レシピ管理標準: 概念、動作、およびメッセージ サービス\u003cbr\u003eSEMI E53 — イベントレポート\u003cbr\u003eSEMI E54 — センサー\/アクチュエーター ネットワーク規格\u003cbr\u003eSEMI E58 — 自動信頼性、可用性、保守性標準 (ARAMS): 概念、動作、およびサービス\u003cbr\u003eSEMI E81 — CIM フレームワーク ドメイン アーキテクチャの暫定仕様\u003cbr\u003eSEMI E87 — キャリア管理 (CMS) の仕様\u003cbr\u003eSEMI E90 — 基板トラッキングの仕様\u003cbr\u003eSEMI E94 — コントロールジョブ管理の仕様\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E98-0309 - 非アクティブ","offer_id":40234340253763,"sku":"5927","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E98-1106 - 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