{"product_id":"e08900-semi-e89-測定システム分析msaのガイド","title":"E08900 - SEMI E89 - 測定システム分析（MSA）のガイド","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e本標準は、Metrics Global Technical Committee \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eで技術\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e的に承認されています。現版は 2012 年 12 \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e月 20\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e日、global Audits and Reviews Subcommittee \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eにて発行が承認されました\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e。 org \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eおよび\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003ewww.semi.org \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eで入手可能となる。初版は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e1999年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e9 \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e月発行。前版は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2007 \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e7 \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e月発行。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e注意\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e: \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003eこの文書は、編集上の修正を行い、再承認されました。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eこのガイドの目的は、連続の一貫した用語を示唆し、測定システム分析（ MSA : Measurement System Analysis ）の計画および実施に対する簡略化した推定的実験的アプローチについてである。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eMSAの目標は，製造やラボの環境で使用されることを意図して測定システム（ \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMS \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e）の性能を特性評価することである。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eMS の偏り、 \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eサイズ、\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003eおよびすべての変動性のソースを正確に特定することにより、そのMS が意図した機能を実行する能力があるかどうかを決定できる。 \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e最も改善が必要な領域を特定し、定量化できる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのガイド\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eは、MS \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eの能力の特定の寸法を決定するための手順を記載し、次の項目を含みます。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e次の項目を含む様々な条件における測定の変動性（待機，繰返し精度）\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e繰返し精度の影響\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003eロード、アンロード状態\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e時間\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e偏りおよび偏りに関連する次の項目を含む\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e線形性\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e安定性\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e適合公差\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本ガイドは、測定精度と許容範囲の比率（ \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eP\/T \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e）や信号対雑音比（ \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSN \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e比）等の二次的測定基準についても記載する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本ガイドの第一の焦点は、通常の操業状態での自動ウェーハ測定システムの測定能力に関するものであるが、定義や方法は、処理されたダイス、パッケージ化されたデバイス、フラットパネルディスプレイ、部品片等のユニット自動測定に関わるその他の多くの測定状況にも拡張できる。\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eMSAの実行については一般に受け入れられる正しい方法はないが、本ガイドで説明するアプローチは技術資料（ \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e§11を参照）によってサポートされ、ISO 5725-2 \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eで提案されている方法に一致する。 \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e記載されている手順は、MSAをするためのアプローチについて記述実行し、様々な用途に対して機能しなくても基準となる基本的な方法について記載する。正確であることもある。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e非システム的（およそランダムな）誤差のさまざまなソースを分離することを意図したこのガイドの手順は、検討および分散分析（ \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eANOVA \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e）\u003c\/font\u003eに基づいている。 \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eの評価であるため、異なるオペレータによって持ち変動は最小であると予測する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont\u003eなし。\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e 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