SEMI E89 - 測定システム分析（MSA）のガイド -

Abstract

本標準は、Metrics Global Technical Committee で技術的に承認されています。現版は 2012 年 12 月 20日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認されました。 org およびwww.semi.org で入手可能となる。初版は1999年9 月発行。前版は2007 年7 月発行。

注意: この文書は、編集上の修正を行い、再承認されました。

このガイドの目的は、連続の一貫した用語を示唆し、測定システム分析（ MSA : Measurement System Analysis ）の計画および実施に対する簡略化した推定的実験的アプローチについてである。

MSAの目標は，製造やラボの環境で使用されることを意図して測定システム（ MS ）の性能を特性評価することである。

MS の偏り、 サイズ、およびすべての変動性のソースを正確に特定することにより、そのMS が意図した機能を実行する能力があるかどうかを決定できる。 最も改善が必要な領域を特定し、定量化できる。

このガイドは、MS の能力の特定の寸法を決定するための手順を記載し、次の項目を含みます。

• 次の項目を含む様々な条件における測定の変動性（待機，繰返し精度）

• 繰返し精度の影響
• ロード、アンロード状態
• 時間

• 偏りおよび偏りに関連する次の項目を含む

• 線形性
• 安定性
• 適合公差

本ガイドは、測定精度と許容範囲の比率（ P/T ）や信号対雑音比（ SN 比）等の二次的測定基準についても記載する。

本ガイドの第一の焦点は、通常の操業状態での自動ウェーハ測定システムの測定能力に関するものであるが、定義や方法は、処理されたダイス、パッケージ化されたデバイス、フラットパネルディスプレイ、部品片等のユニット自動測定に関わるその他の多くの測定状況にも拡張できる。

MSAの実行については一般に受け入れられる正しい方法はないが、本ガイドで説明するアプローチは技術資料（ §11を参照）によってサポートされ、ISO 5725-2 で提案されている方法に一致する。 記載されている手順は、MSAをするためのアプローチについて記述実行し、様々な用途に対して機能しなくても基準となる基本的な方法について記載する。正確であることもある。

非システム的（およそランダムな）誤差のさまざまなソースを分離することを意図したこのガイドの手順は、検討および分散分析（ ANOVA ）に基づいている。 の評価であるため、異なるオペレータによって持ち変動は最小であると予測する。

なし。

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