SEMI E87 - キャリア管理（CMS）のための仕様 -

Abstract

本標準は、global Information & Control Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年12 月24日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 .orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1999年月発行。前版は2009年7月発行。

本書は，製造装置間と，存在すればその内部バッファスペースの間で行われる，自動および手動キャリア搬送の調整，実行および完了のホストの観点での通信に対する標準的な挙動を当然のものである。

本標準はSEMI E15.1の300mmロードポートに関するホスト・装置間通信を扱う標準である。

本書の範囲は自動およびマニュアルでのキャリア搬送および内部バッファ装置のキャリアについてホストが情​​報を知り、その役割を実行しやすい基準を定義することである。相互作用を定義する状態モデルおよびシナリオを提供する：

• AMHS搬送車と製造装置のロードポート間のキャリア受け渡し
• 製造装置の内部バッファへの、あるいはそこからのキャリアの移動
• デバイスとロードポート群のアクセスモードの移行
• キャリアとロードポートのこれまで
• キャリアIDの照合およびキャリアスロットマップの照合

下位文書:

SEMI E87.1-0707 - キャリア管理 (CMS) 用の SECS-II プロトコルの暫定仕様

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E62 — 300 mm フロントオープニング インターフェース機械規格 (FIMS) の仕様
SEMI E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I/O インターフェイスの仕様
SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様
SEMI E99 — キャリア ID リーダー/ライター機能標準: 概念、動作、およびサービスの仕様

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