{"product_id":"e08500-semi-e85-specification-for-physical-amhs-stocker-to-interbay-transport-system-interoperability","title":"E08500 - SEMI E85 - 物理 AMHS ストッカからベイ間搬送システムへの相互運用性の仕様","description":"\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの仕様は、300 mm 自動マテリアル ハンドリング システム (AMHS) 機器のベイ間ロード ポートの寸法要件を定義します。これは、さまざまな種類のベイ間機器間の物理的なインターフェイスを定義する必要な機能と寸法のリストを促進し、工場全体で見られるさまざまなマテリアルハンドリング要件を満たすためにさまざまな自動搬送システムの使用を促進することを目的としています。これは、ストッカーとベイ間搬送システムの両方が準拠する必要があるインターフェイスの 6 つのオプションを定義することによって行われます。定義されているオプションは次のとおりです。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp class=\"StdsListBulleted\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Symbol;\"\u003e· \u003cspan style='font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: normal; font-family: \"Times New Roman\";'\u003e    \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eオプション A: アクティブ トランスポートは、キャリアを内部ストッカー位置にロードします。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"StdsListBulleted\"\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Symbol;\"\u003e· \u003cspan style='font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: normal; font-family: \"Times New Roman\";'\u003e    \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eオプション B: アクティブ トランスポートは、キャリアを外部ストッカー位置にロードします。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp class=\"StdsListBulleted\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Symbol;\"\u003e· \u003cspan style='font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: normal; font-family: \"Times New Roman\";'\u003e    \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eオプション C: 受動的搬送はキャリアを内部ストッカー位置に送ります。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"StdsListBulleted\"\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Symbol;\"\u003e· \u003cspan style='font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: normal; font-family: \"Times New Roman\";'\u003e    \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eオプション D: 受動搬送: キャリアを外部ストッカー位置に送ります (キネマティック カップリング ピンのピックアップ)。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp class=\"StdsListBulleted\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Symbol;\"\u003e· \u003cspan style='font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: normal; font-family: \"Times New Roman\";'\u003e    \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eオプション E: 受動的搬送では、キャリアを外部のストッカー位置に送ります (コンベヤ フランジのピックアップ)。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"StdsListBulleted\"\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Symbol;\"\u003e· \u003cspan style='font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: normal; font-family: \"Times New Roman\";'\u003e    \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eオプション F: パッシブ搬送では、(a) 3 本すべてのキネマティック ピン、(b) 3 本すべての二次キネマティック ピン、または (c) 上部ロボット フランジのいずれかを使用して、ピックアップのためにキャリアを外部ストッカー位置に送ります。キャリアは、キャリアの前面が積載面に対して垂直になるように配置されます。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"StdsH1\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの規格は、300 mm AMHS インターベイ機器の物理インターフェイスのみを対象としています。 300 mm AMHS イントラベイ機器をカバーする同様の要件は、SEMI E15.1 でカバーされています。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cspan style='font-size: small; font-family: \"Microsoft Sans Serif\";'\u003e　\u003c\/span\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eSEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"StdsText\" style=\"\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eSEMI E15 — ツールロードポートの仕様\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"StdsText\" style=\"\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eSEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"StdsText\" style=\"\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eSEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるボックスおよびポッドの機械仕様\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"StdsText\" style=\"\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eSEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせとサポートに使用されるキネマティックカップリングの仕様\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"StdsText\" style=\"\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eSEMI E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I\/O インターフェイスの仕様\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E85-1108 (再承認 0513) - 非アクティブ","offer_id":40234351657027,"sku":"5915","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E85-1108 - 置き換えられました","offer_id":40234351722563,"sku":"7427","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E85-0705 - 置き換えられました","offer_id":40234351788099,"sku":"7426","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E85-0302 - 置き換えられました","offer_id":40234351853635,"sku":"7425","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_95e634f4-a928-4cc2-8dec-9269f2fb0080.png?v=1776702275","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e08500-semi-e85-specification-for-physical-amhs-stocker-to-interbay-transport-system-interoperability","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}