SEMI E85 - ベイ間搬送システム用AMHSストッカーの共用性に関する仕様 -

Abstract

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本基準は、Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年8月29日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 semi.orgで。初版は1999年6月発行、前版は2005年7月に発行された。

本仕様が規定するのは、300 mm AMHS 装置のインターベイロードポートに関わる寸法の要求条件である。 この目的は、異なるタイプのインターベイ装置内部から物理的なインターフェースを決定するために必要な形状と寸法であるのリストを作成し、異なる自動搬送システムを使えるように、工場内にある様々な材料取り扱い要求に応えることである。 6つ規定されれば不足することになる。規定されたオプションは次のとおり。

•オプションA ： アクティブ搬送がキャリアをストッカー内部位置に移動します。

•オプションB ： アクティブ搬送がキャリアをストッカー外部位置に転送する。

•オプションC ： パッシブ搬送がキャリアをストッカー内部位置に移動する。

•オプションD ： パッシブ搬送がキャリアをストッカー外部位置に移送する（キネマティックカプリングピンで持ち上げる）。

•オプションE ： パッシブ搬送がキャリアをストッカー外部位置に移送する（ターボで上昇する）。

•オプションF ： パッシブ搬送がキャリアを次の何れを用いて上昇するため、ストッカー外部位置に移送する。 )上部ロボティックフランジ。 キャリアは、ロード表面に垂直なキャリア前面に向けられる。

本基準は、300 mm AMHS インターベイ装置の物理的なインターフェースだけをカバーするものである。300 mm AMHS インターベイ装置と同様の要求条件が、SEMI E15.1でカバーされている。

SEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様
SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるボックスおよびポッドの機械仕様
SEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせと支持に使用されるキネマティックカップリングの機械仕様
SEMI E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I/O インターフェイスの仕様

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