{"product_id":"e08400-semi-e84-캐리어-핸드오프-병렬-i-o-인터페이스-강화-사양","title":"E08400 - SEMI E84 - 캐리어 핸드오프 병렬 I\/O 인터페이스 강화 사양","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e표준은 기술적으로 Global Physical Interfaces \u0026amp; Carriers \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003eCommittee \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003eから\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e2009 年 8 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e月 9 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e日 4 日 グローバル監査およびレビュー小委員会\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e에 의해 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e승인되었다。 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e1999年6 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e月6日、 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e2007年11月\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e11 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e日。 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e2009 年 10 月 www.semi.org に登録されています。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e대용량 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e웨이퍼 사이즈로의 전환 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e으로, 향후 반도체 공장은 더 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e무거워 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e진FOUP 및 오픈 카세트(オープンカセット) 를 포함 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e하는 웨이퍼 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e캐리어(キャリア) \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e를 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e전송하기 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e위해서 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e대규모의 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e자동화된 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e재료 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e처리 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e시스템(AMHS) 을 사용할 것이다。 이에 생산 장비와 AMHS 간의 병렬 입\/ 출력(PI\/O) 컨트롤(制御) 신호는 생산 장비 로드 포트에서 보다 안정적이고 효율적인 캐리어(キャリア) 핸드오프(ハンドオフ) (로드\/ 언로드) 를 위해 제정되어야한다。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e이 \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e표준의 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e목적은 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e캐리어(キャリア) \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e전송의 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e신뢰성과 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e효율성 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e개선 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e을 위해 SEMI E23 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e에서 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e정의된 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e병렬 I\/O \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e인 터페이스의 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e기능을 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e강화하는 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e것이다。 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e향상된 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e기능에는 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e연속적인 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e핸드오프(ハンドオフ)、 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e동시 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e핸드오프(ハンドオフ) \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e및、 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e인터페이스상의 오류 감지 기 능이 포함되어 있다。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e이 표준은 능동 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e장비( 예, AGV, RGV 및 OHT 가 포함된 AMHS 장비) 와 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e수동 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e장비( 예, \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e프로세스 및 계측 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e장 비 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e를 포함하는 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e생산 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e설비; \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e스토커 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e등) \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e간의 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e재료 핸드오프(ハンドオフ) 작업과 관련된 통신에 인터베이(インターベイ) AMHS 능동 장비( 즉, 전송 기기를 갖춘 OHS 와 스토커) 와 수 동 장비( 즉, 전송 기기가 갖추어지지 않은 OHS 와 스토커) 까지 확장된다。 이 표준은 생산 장비와 AMHS 간의 핸드오프(ハンドオフ) 캐리어(キャリア) 에 사용되는 향상된 병렬 I\/O 인터페이스 신호를 나타낸다。図 1 と 2 は AHMS の機能を表します。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e향상된 \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e캐리어(キャリア) \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e핸드오프(ハンドオフ) \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e병렬 I\/O \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e인터페이스 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e표준은 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e다음을 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e포함한다:\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e로드 \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e포트 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e할당 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e신호를 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e포함하는 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e신호 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e정의 (¶ 6.1)\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e캐리어 \u003cfont size=\"2\"\u003e(キャリア) \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e핸드오프(ハンドオフ) \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e시퀀스(シーケンス) \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e정의 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e및 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e시간 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e다이어그램 (¶ 6.2)\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e오류 \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e표시、 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e감지 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e및 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e복구 (¶ 6.3 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e과 ¶ 6.4)\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e커넥터 \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e유형、 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e신호 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e및 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e핀 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e할당 (¶ 6.4)\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E15.1 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e가 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e정의한 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e로드 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e포트에 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e위치한 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e인터페이스 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e센서 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e단위 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e사이즈 (300mm \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e웨이퍼 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e캐리어(キャリア) \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e를 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e처리) 하도록 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e설계된 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e시스템에 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e적용)\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003c\/ul\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e향상된 캐리어(キャリア) 핸드오프(ハンドオフ) 병렬 I\/O 인터페이스는 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e능동 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e장비 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e를 사용하여 수동 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e장비에서 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e센 고 받는 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e캐리어(キャリア) \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e의 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e핸드오프(ハンドオフ) \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e를 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e컨트롤(コントロール) \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e한다。 \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003eこの\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003eI\/O \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003eは\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e、キャリア (キャリア) \u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003eとハンドオフ (ハンドオフ) およびコントロール (コントロール) を表します。 핸드오프(ハンドオフ) 는 캐리어(キャリア) 가 장비의 한 부분에서 다른 부분으로 전송되는 작업이다。 능동 및 수동 장비 모두에서 이 작업을 관리하며, 공장 수준의 컨트롤러(controller 즉, 호스트) 는 핸 드오프(ハンドオフ) 운영을 관리하지 않는다。図 3 は I\/O の概念を示しています。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI E1.9 — 300 枚のウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様\u003cbr\u003eSEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様\u003cbr\u003eSEMI E23 — カセット転送パラレル I\/O インターフェイスの仕様\u003cbr\u003eSEMI E30 — 通信の汎用モデル\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E84-1109 - 置き換えられました","offer_id":40234349690947,"sku":"8235","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_a5f4160a-69a7-4966-8b22-a5a2dea82098.png?v=1776702090","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e08400-semi-e84-%ec%ba%90%eb%a6%ac%ec%96%b4-%ed%95%b8%eb%93%9c%ec%98%a4%ed%94%84-%eb%b3%91%eb%a0%ac-i-o-%ec%9d%b8%ed%84%b0%ed%8e%98%ec%9d%b4%ec%8a%a4-%ea%b0%95%ed%99%94-%ec%82%ac%ec%96%91","provider":"SEMI Dev 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