SEMI E84 - エンハンストキャリア移載パラレルI/Oインターフェースの仕様 -

Abstract

本基準は、global Physical Interfaces & Carriers Committeeで技術的に承認されています。現版は2009年9 月4日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認されました。 .orgで、そして2009年11月にCD-ROM で入手可能となりました。 初版は1999年6 月発行、前版は2007 年11 月に発行されました。

大きなウェーハサイズへの移行によって，将来の半導体工場は多くに自動材料搬送システム（ AMHS : Automated Materials Handling Systems ）を使ってウェーハキャリアを搬送することになる。これはFOUPおよびオープンカセットなどの重量の増加による。製造装置とAMHSの間のパラレル入出力（ PI/O ）制御信号は、製造装置ロードポートで、より確実でより効率的なキャリア移載（ロード／アンロード）のために十分に定義されなければならない。

この仕様の目的は、SEMI E23に規定されたパラレルI/Oのインタフェースの能力を向上させることであり、これはキャリア伝達性および効率の向上をサポートするためである。含むものは，連続転送，同時転送，インタフェースエラー上の検出能力である。

SEMI E1.9 — 300 枚のウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様
SEMI E23 — カセット転送パラレル I/O インターフェイスの仕様
SEMI E30 — 通信の汎用モデル

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