{"product_id":"e07700-semi-e77-test-method-for-calculation-of-conversion-factors-for-a-mass-flow-controller-using-surrogate-gases","title":"E07700 - SEMI E77 - サロゲートガスを使用したマスフローコントローラーの変換係数計算の試験方法","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2015 年 5 月 19 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2015 年 8 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1998 年に出版されました。以前は 2010 年 7 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの試験方法の目的は、マスフローコントローラー (MFC) におけるあるガスから別のガスへの公称平均変換係数を定量化し、MFC の流量の関数として変換係数を定量化することです。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの手順では、2 つのガス間の MFC 変換係数と関数を決定する方法について説明します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書は、メーカーとユーザー間のコミュニケーションのための共通の基盤を提供します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書の目的は、特定のテスト プログラムを提案することではなく、この方法でカバーされるパラメータをテストするときに使用するテスト方法を指定することです。基準動作条件は、「最高の」パフォーマンスが期待できる環境条件を表します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eなし。\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E77-0423 - Current","offer_id":43106898247747,"sku":"16494","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E77-1104 (Reapproved 0815) - Superseded","offer_id":43106898280515,"sku":"3852","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E77-1104 (再承認 0710) - 置き換えられました","offer_id":40234264264771,"sku":"7605","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E77-1104 - 置き換えられました","offer_id":40234264363075,"sku":"7405","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_91859de9-75e2-4654-93b2-9fd6e51bae68.png?v=1776702792","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e07700-semi-e77-test-method-for-calculation-of-conversion-factors-for-a-mass-flow-controller-using-surrogate-gases","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}