{"product_id":"e07400-semi-e74-specification-for-vacuum-pump-interfaces-turbomolecular-pumps","title":"E07400 - SEMI E74 - 真空ポンプインターフェースの仕様 - ターボ分子ポンプ","description":"\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの規格は、ターボ分子ポンプ (TMP) タイプの真空ポンプの物理的および電気的インターフェイスを指定します。ポンプインターフェースの標準化により、ポンプの互換性が可能になります。デバイスメーカーは、処理装置を調達する際にこの規格を使用して、ポンプの互換性に必要なインターフェースを装置サプライヤーに指定します。この文書は、半導体処理装置のサプライヤーがポンプのサプライヤーへの標準化されたインターフェースを指定するためにも使用します。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH1\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの規格は、300 mm 半導体処理装置に付属する真空ポンプに適用されます。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの規格では、次のような TMP の機械的および電気的インターフェイスを指定しています。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsListBulleted\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Symbol;\"\u003e· \u003cspan style='font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: normal; font-family: \"Times New Roman\";'\u003e    \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e機械的コネクタと位置\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsListBulleted\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Symbol;\"\u003e· \u003cspan style='font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: normal; font-family: \"Times New Roman\";'\u003e    \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e制御信号とコネクタ\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsListBulleted\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Symbol;\"\u003e· \u003cspan style='font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-stretch: normal; line-height: normal; font-family: \"Times New Roman\";'\u003e    \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e電源とコネクタ\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsFigureTableSpace\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eSEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン\u003c\/font\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E74-0301 (再承認 0413) - 非アクティブ","offer_id":40234343923779,"sku":"5912","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E74-0301 (再承認 0307) - 置き換えられました","offer_id":40234343989315,"sku":"7403","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E74-0301 - 置き換えられました","offer_id":40234344120387,"sku":"7402","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_54e63974-7a78-4181-9091-088b4ba343f6.png?v=1776702277","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e07400-semi-e74-specification-for-vacuum-pump-interfaces-turbomolecular-pumps","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}