{"product_id":"e07300-semi-e73-specification-for-vacuum-pump-interfaces-dry-pumps","title":"E07300 - SEMI E73 - 真空ポンプインターフェースの仕様 - ドライポンプ","description":"\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの規格は、ドライポンプ (DRP) タイプの真空ポンプの物理的および電気的インターフェースを指定します。ポンプインターフェースの標準化により、ポンプの互換性が可能になります。デバイスメーカーは、処理装置を調達する際にこの規格を使用して、ポンプの互換性に必要なインターフェースを装置サプライヤーに指定します。この文書は、半導体処理装置のサプライヤーがポンプのサプライヤーへの標準化されたインターフェースを指定するためにも使用します。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH1\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの規格は、300 mm 半導体処理装置に付属する真空ポンプに適用されます。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの規格では、以下を含むドライポンプの機械的および電気的インターフェースを規定しています。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsListBulleted\" style=\"text-indent: 0in;\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e• メカニカルコネクタ\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsListBulleted\" style=\"text-indent: 0in;\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e・制御信号とコネクタ\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsListBulleted\" style=\"text-indent: 0in;\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e・電源とコネクタ\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e図 1 は、標準化されたインターフェイスの範囲を示しています。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eSEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン\u003c\/font\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E73-0301 (再承認 0413) - 非アクティブ","offer_id":40234317152323,"sku":"5909","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E73-0301 (再承認 0307) - 置き換えられました","offer_id":40234317250627,"sku":"7401","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E73-0301 - 置き換えられました","offer_id":40234317381699,"sku":"7400","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_963263ff-8dac-4a95-8b10-f83c5bed4d26.png?v=1776702279","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e07300-semi-e73-specification-for-vacuum-pump-interfaces-dry-pumps","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}