{"product_id":"e06300-semi-e63-300-mmボックスオープナ-ローダーと装置間のスタンダードbolts-mインタフェースの機械的仕様","title":"E06300 - SEMI E63 - 300 mmボックスオープナ／ローダーと装置における標準（BOLTS-M） インターフェースの機械的仕様","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e本基準は、global Physical Interfaces \u0026amp; Carriers \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003eCommittee \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003eで技術的に承認されています。現版は2010年8 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e月27\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e日、global Audits and Reviews Subcommittee \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003eにて\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e発行が承認されました。 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e.orgで入手可能となる。 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e初版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e1997年に発行、前版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e2004 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e11 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e月に発行された。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c?xml:namespace prefix = o ns = \"urn:schemas-microsoft-com:office:office\" \/\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0in 0in 0pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in; mso-list: none\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e本スタンダードは、プロセス装置または測定装置においてボックス上\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e、\u003c\/span\u003e 300 mmウェーハのアンロードおよびロードのためにウェーハハンドラにウェーハを渡すための装置側の機械的インターフェースを規定する。 \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003eつ以上の（ SEMI E15.1 に準拠した）ロードポートを所有しているとともに、空容器あるいは（装置のスループットを上げるための）待機ロット用のストッカーを所有していることもある。 ボックスオープナ／ローダーユニットは（ \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003eSEMI E47 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e.1、SEMI E62に準拠した）ボックスまたはポッドを扱うだけでなく（SEMI E1.9に準拠した）オープンカセット\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003eを扱う。のインタフェース規格によって規定する。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様\u003cbr\u003eSEMI E15 — ツールロードポートの仕様\u003cbr\u003eSEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様\u003cbr\u003eSEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)\u003cbr\u003e SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用される FOUPS の機械仕様\u003cbr\u003eSEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせと支持に使用されるキネマティックカップリングの機械仕様\u003cbr\u003eSEMI E62 — 300 mm フロントオープニング インターフェース機械規格 (FIMS) の仕様\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E63-1104 (再承認 1110) - 置き換えられました","offer_id":40234262331459,"sku":"3843","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_39cb1250-47e0-42a1-af27-574d44d9cd8d.png?v=1776702800","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e06300-semi-e63-300-mm%e3%83%9c%e3%83%83%e3%82%af%e3%82%b9%e3%82%aa%e3%83%bc%e3%83%97%e3%83%8a-%e3%83%ad%e3%83%bc%e3%83%80%e3%83%bc%e3%81%a8%e8%a3%85%e7%bd%ae%e9%96%93%e3%81%ae%e3%82%b9%e3%82%bf%e3%83%b3%e3%83%80%e3%83%bc%e3%83%89bolts-m%e3%82%a4%e3%83%b3%e3%82%bf%e3%83%95%e3%82%a7%e3%83%bc%e3%82%b9%e3%81%ae%e6%a9%9f%e6%a2%b0%e7%9a%84%e4%bb%95%e6%a7%98","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}