{"product_id":"e05700-semi-e57-300-mmウェーハキャリアの位置決めおよび支持のために使用されるキネマティックカプリングの機械仕様","title":"E05700 - SEMI E57 - 300mmウェーハキャリアの位置決めおよびサポートのために使用されるキネマティックカプリングの機械仕様","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e本基準は、global Physical Interfaces \u0026amp; Carriers \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003eCommittee \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003eで技術的に承認されています。現版は2010年8 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e月27\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial\"\u003e日、global Audits and Reviews Subcommittee \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003eにて\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e発行が承認されました。 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e.org \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003eで入手可能となる。 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e初版\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003eは\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e1996年に発行、前版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e2005 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e3 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e月に発行された。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c?xml:namespace prefix = o ns = \"urn:schemas-microsoft-com:office:office\" \/\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in; mso-list: none\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e本スタンダードは、300mm径ウェーハキャリア（搬送用カセット、プロセスカセット、クォーツボート、ポッド、ロットボックス、シッピングボックスを含む）を人間工学的に設置し、正確にサポートするように使用される、自動位置決めこれらのキネマティックカプリングは次のようなインターフェースにおいて使用される。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"Bullet\" style=\"MARGIN: 0in 0in 0pt 20.75pt; TEXT-INDENT: -20.75pt; mso-list: l1 level1 lfo3; tab-stops: 15.6pt list .6in\"\u003e \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: Symbol; mso-bidi-font-family: Symbol; mso-fareast-language: JA; mso-fareast-font-family: Symbol\"\u003e\u003cspan style=\"mso-list: Ignore\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e・\u003cspan style=\"FONT: 7pt 'Times New Roman'\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003eボックスまたはカセットと装置ロードポートまたは搬送装置との間\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"Bullet\" style=\"MARGIN: 0in 0in 0pt 20.75pt; TEXT-INDENT: -20.75pt; mso-list: l1 level1 lfo3; tab-stops: 15.6pt list .6in\"\u003e \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: Symbol; mso-bidi-font-family: Symbol; mso-fareast-language: JA; mso-fareast-font-family: Symbol\"\u003e\u003cspan style=\"mso-list: Ignore\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e・\u003cspan style=\"FONT: 7pt 'Times New Roman'\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e搬送用カセットとボックスとの間\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"Bullet\" style=\"MARGIN: 0in 0in 6pt 20.75pt; TEXT-INDENT: -20.75pt; mso-list: l1 level1 lfo3; tab-stops: 15.6pt list .6in\"\u003e \u003cspan style=\"FONT-FAMILY: Symbol; mso-bidi-font-family: Symbol; mso-fareast-language: JA; mso-fareast-font-family: Symbol\"\u003e\u003cspan style=\"mso-list: Ignore\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"FONT: 7pt 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e・プロセスカセットまたはクォーツボートとプロセスチェンバーの底面との間\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI E15 — ツールロードポートの仕様\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)\u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI E19.4 — 200 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF)\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E57-0600 (再承認 1110) - 置き換えられました","offer_id":40234249486403,"sku":"3838","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E57-0600E2 (再承認 0305) - 置き換えられました","offer_id":40234249519171,"sku":"7636","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_eba72f13-7542-4de9-82c9-8ccd7e546d0e.png?v=1776702803","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e05700-semi-e57-300-mm%e3%82%a6%e3%82%a7%e3%83%bc%e3%83%8f%e3%82%ad%e3%83%a3%e3%83%aa%e3%82%a2%e3%81%ae%e4%bd%8d%e7%bd%ae%e6%b1%ba%e3%82%81%e3%81%8a%e3%82%88%e3%81%b3%e6%94%af%e6%8c%81%e3%81%ae%e3%81%9f%e3%82%81%e3%81%ab%e4%bd%bf%e7%94%a8%e3%81%95%e3%82%8c%e3%82%8b%e3%82%ad%e3%83%8d%e3%83%9e%e3%83%86%e3%82%a3%e3%83%83%e3%82%af%e3%82%ab%e3%83%97%e3%83%aa%e3%83%b3%e3%82%b0%e3%81%ae%e6%a9%9f%e6%a2%b0%e4%bb%95%e6%a7%98","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}