{"product_id":"e05600-semi-e56-test-method-for-determining-accuracy-linearity-repeatability-short-term-reproducibility-hysteresis-and-deadband-of-thermal-mass-flow-controllers","title":"E05600 - SEMI E56 - サーマルマスフローコントローラの精度、直線性、再現性、短期再現性、ヒステリシス、および不感帯を決定するための試験方法","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 12 月 8 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版発行は 2004 年 11 月。以前は 2015 年 8 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書の目的は、熱式質量流量コントローラー (MFC) の精度、直線性、再現性、短期再現性、ヒステリシス、および不感帯を定量化する標準化された方法を提供することです。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書の目的は、特定のテスト プログラムを提案することではなく、この方法でカバーされるパラメータをテストするときに使用するテスト方法を指定することです。ユーザーはこのドキュメントを使用して、厳密に制御された一連のテスト条件下での精度、精度、バイアス、再現性、直線性、短期再現性、デッドバンドなどの重要な性能特性をチェックできます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの方法における精度計算の重要性は、MFC ユーザーがプロセス制御を維持しながら、ある製造ツールから別の製造ツールにプロセスを移行し、単一の製造ツール内で MFC を交換できるようにすることです。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書では、サーマル MFC の精度、直線性、再現性、ヒステリシス、および不感帯をテストするための条件と手順について説明します。この文書は一般的な性質を持っているため、すべてのテスト手順がすべてのタイプの MFC に適用されるわけではありません。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書は、メーカーとユーザーの間のコミュニケーションのための共通の基盤を提供しました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI E17 — マスフローコントローラー過渡特性試験ガイド\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E56-0317 - 現在","offer_id":40234259677251,"sku":"3837","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E56-0815 - 置き換えられました","offer_id":40234259775555,"sku":"7814","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E56-0314 - 置き換えられました","offer_id":40234259873859,"sku":"7784","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E56-0309 - 置き換えられました","offer_id":40234259972163,"sku":"7480","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E56-1104 - 置き換えられました","offer_id":40234260070467,"sku":"7380","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E56-1296 - 置き換えられました","offer_id":40234260103235,"sku":"7857","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_fa16c320-a03e-4a53-ab36-7aed2e4441ca.png?v=1776702804","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e05600-semi-e56-test-method-for-determining-accuracy-linearity-repeatability-short-term-reproducibility-hysteresis-and-deadband-of-thermal-mass-flow-controllers","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}