{"product_id":"e05600-semi-e56-熱マスフローコントローラの精度-直線性-リピータビリティ-短期再現性-ヒステリシス履歴現象およびデッドバンドを判断するテスト方法","title":"E05600 - SEMI E56 - ヒートマスフローコンソールの精度、直線性、リピータビリティ、短期再現性、ヒステリシス（履歴現象）およびデッドバンドを判断するテスト方法","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのドキュメントの目的は、ヒートマスフロープロセッサの精度、直線性、リピータビリティ、短期再現性、ヒステリシスおよびデッドバンドを定量化するための標準化された方法を提供するものである。\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003eこのドキュメントの時には、特殊なテストプログラムを提案することでなく、ここに含まれているパラメータをテストする使用するテスト方法を決定することにある。てや精度、バイアス（歪み）、直線性、短期再現性およびデッドバンドを徹底的にこのドキュメントを利用できることができる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003eこの方法において精度を計算する意義は，マスフロープロセッサ（ MFC ）の 1 人のユーザーが 1 つのプロセスにおいてある製造装置から別の装置まで移動すること，そして制御プロセスを行う間に\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e1 \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e台の製造装置内部で\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMFC \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003eを交換することを可能にすることにある。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e本書は熱マスフロープロセッサ（ MFC ）の精度、直線性、リピータビリティ、ヒステリシスおよびデッドバンドをテストするための条件および手順を説明する。の種類の\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMFC \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003eに適用される場合は限定的ではありません。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのドキュメントはメーカーとユーザーとの間のコミュニケーションの共通基盤を提供するものである。\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSEMI E17 — マスフローコントローラー過渡特性試験のガイドライン\u003cbr\u003e\u003cfont\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E56-1296 - 置き換えられました","offer_id":40234352902211,"sku":"8228","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_f8cc7d86-ea37-405a-916c-4bf8d5e04e28.png?v=1776702095","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e05600-semi-e56-%e7%86%b1%e3%83%9e%e3%82%b9%e3%83%95%e3%83%ad%e3%83%bc%e3%82%b3%e3%83%b3%e3%83%88%e3%83%ad%e3%83%bc%e3%83%a9%e3%81%ae%e7%b2%be%e5%ba%a6-%e7%9b%b4%e7%b7%9a%e6%80%a7-%e3%83%aa%e3%83%94%e3%83%bc%e3%82%bf%e3%83%93%e3%83%aa%e3%83%86%e3%82%a3-%e7%9f%ad%e6%9c%9f%e5%86%8d%e7%8f%be%e6%80%a7-%e3%83%92%e3%82%b9%e3%83%86%e3%83%aa%e3%82%b7%e3%82%b9%e5%b1%a5%e6%ad%b4%e7%8f%be%e8%b1%a1%e3%81%8a%e3%82%88%e3%81%b3%e3%83%87%e3%83%83%e3%83%89%e3%83%90%e3%83%b3%e3%83%89%e3%82%92%e5%88%a4%e6%96%ad%e3%81%99%e3%82%8b%e3%83%86%e3%82%b9%e3%83%88%e6%96%b9%e6%b3%95","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}