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SEMI E54.19 - MECHATROLINKに関するセンサー／アクチュエータネットワークの仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、グローバル情報管理委員会で技術的に承認されている。現版は2007年12月20日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認された。 orgで、そして2008 年3月にCD-ROMで入手可能となりました。初版は2007年3月に発行されました。
注意： 本書は、SEMI E54連続の基準として出版されず、単独で発行および販売される。
この仕様書は，半導体製造装置におけるセンサー／アクチュエータネットワーク（ SAN ） SEMI E54 のモデルに沿って，MECHATROLINK を使用したインテリジェントな機器間における通信の仕様を定義する。
この仕様書は、SEMI E54センサー／アクチュエータ機器の、共通／特定デバイスモデルに基づいた、相互接続性について定義します。
この仕様書は， センサー／アクチュエータ／コントローラ機器が，制御機器の一部としていずれかのようにMECHATROLINKの公開通信仕様の§4で定義される仕様に対応する規定する。
この仕様書は、SEMI E54の主要な部分である、共通デバイスモデル（ CDM ）と規定済みの特定デバイスモデル（ SDM ）との関係を定義する。 SDMの仕様書，およびMECHATROLINKで公開されている仕様書と合わせて使用される。
参照されるSEMI規格SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデルの規格
SEMI E54.3 — マスフローデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.10 — In-situ粒子モニターデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様
SEMI E54.11 — エンドポイントデバイスの特定のデバイスモデル
SEMI E54.18 — 真空ポンプデバイスの特定のデバイスモデル
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