SEMI E54.17 - A-LINKに関するセンサー／アクチュエータネットワークの規定 -

Abstract

本標準は、global Information & Control Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 .orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2005年7月発行。前版は2006年7月発行。

注意： 本書は、SEMI E54連続の基準として出版されず、単独で発行および販売される。

注意: 本書は、編集上の修正を考慮して再承認されました。

本書は半導体製造装置に装備されるセンサー／アクチュエータネットワーク（SAN）上のSEMI E54のデバイスモデルに従って動作するインテリジェントなデバイス間の通信を可能とするA-LINKプロトコルに基づいた通信の規定を定めるものである。

本書はSEMI E54の共通／特定のデバイスモデルに基づいたセンサー／アクチュエータデバイス間の相互運用を可能とするものである。

SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス

SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデルの規格

SEMI E54.3 — マスフローデバイス用のセンサー/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様

SEMI E54.10 — In Situ 粒子監視デバイス用のセンサー/アクチュエーター ネットワーク固有のデバイス モデルの仕様

SEMI E54.11 — エンドポイントデバイスの特定のデバイスモデル

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