{"product_id":"e05415-semi-e54-15-sensor-actuator-network-communication-specification-for-safetybus-p","title":"E05415 - SEMI E54.15 - SafetyBUS p のセンサー\/アクチュエーター ネットワーク通信仕様","description":"\u003cp\u003e注意: このドキュメントは、SEMI E54 規格スイートとともに発行されなくなりました。別売りで発行・販売しております。\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp\u003eこの規格は、世界的な情報管理委員会によって技術的に承認されました。この版は、2007 年 9 月 5 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2007 年 10 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 2005 年 2 月に出版されました。以前は 2006 年 7 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eこの規格は、SafetyBUS p プロトコルに基づく通信仕様を定義し、半導体製造装置内の SEMI 指定のデバイス モデル (共通およびデバイス固有) に従って動作するセンサー\/アクチュエータ ネットワーク (SAN) 上のインテリジェント デバイス間の通信を可能にします。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス (OSS)\u003cbr\u003e SEMI E54 — センサー\/アクチュエーター ネットワーク規格\u003cbr\u003eSEMI E54.1 — センサー\/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデルの規格\u003cbr\u003eSEMI E54.3 — マスフローデバイス用のセンサー\/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様 \u003cbr\u003eSEMI E54.10 — In-Situ粒子モニターデバイス用のセンサー\/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様\u003cbr\u003eSEMI E54.11 — エンドポイントデバイスのセンサー\/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様\u003cbr\u003eSEMI E54.18 — 真空ポンプデバイス用のセンサー\/アクチュエーターネットワーク固有のデバイスモデルの仕様\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E54.15-1107 (Withdrawn 0524) - Withdrawn","offer_id":43106883502147,"sku":"17578","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E54.15-1107 - Superseded","offer_id":43106883534915,"sku":"5895","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_S_28eda2f6-c693-4098-a4ce-6d9115563aab.png?v=1776702291","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/e05415-semi-e54-15-sensor-actuator-network-communication-specification-for-safetybus-p","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}