Japan Store
SEMI E54.10 - in-situパーティクルモニターデバイスのためのセンサー/アクチュエータネットワーク特定デバイスモデルの仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Information & Control Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 .orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2000年5月発行。前版は2006年11月発行。
注意： 本書は、SEMI E54連続の基準として出版されず、単独で発行および販売される。
注意: この文書は、編集上の修正を考慮して再承認されました。
本仕様はセンサー/アクチュエータネットワークのためのSEMIスタンダードのインプリメンテーションを規定する連続のスタンダードの一つである。 本仕様の具体的な目的は，半導体装置センサー/アクチュエータ通信ネットワークにあるIn-Situパーティクルモニターデバイスすべてに共通のデバイスオブジェクトで構成されているネットワークに依存しないアプリケーションモデルを指すことである。
参照されるSEMI規格SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E54 — センサー/アクチュエーター ネットワーク規格
SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデルの規格
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件