SEMI E54.3 - マスフローデバイスのためのセンサー／アクチュエータネットワーク（SAN）独自のデバイスモデルのための基準 -

Abstract

本基準は、グローバル情報管理委員会で技術的に承認されている。現版は2010年8月27日、グローバル監査およびレビュー小委員会にて発行が承認された。 org で入手可能となる。初版は1998年6 月に発行、前版は2004 年7 月に発行された。

注意： 本書は、SEMI E54連続の基準として出版されず、単独で発行および販売される。

本仕様はセンサー／アクチュエータネットワークのためのSEMIスタンダードの実装を規定する連続の標準の一部である。本仕様独自の目的は、半導体装置のセンサー／アクチュエータ通信ネットワークのあるマスフローデバイスすべてに共通したデバイスオブジェクトで構成されている，ネットワークから独立したアプリケーションモデルを指すことである。

SEMI E12 — マスフローメータおよびマスフローコントローラで使用される標準圧力、温度、密度、および流量単位の規格
SEMI E18 — マスフローコントローラーの温度仕様に関するガイドライン
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E52 — デジタルマスフローコントローラで使用されるガスおよびガス混合物を参照するための実践
SEMI E54.1 — センサー/アクチュエーター ネットワーク共通デバイス モデルの規格

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.