{"product_id":"e05200-semi-e52-デジタルマスフローコントローラで使用されるガス-ガス混合物および気化して使用する材料の参照表","title":"E05200 - SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラで使用されるガス，ガス混合物および気化して使用する材料の参照表","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e本基準は、global \u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eGases Committee \u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eで技術\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e的に承認されている。現版は2011年5月13日、global Audits and Reviews Subcommittee \u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eにて\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e発行が承認された。 \u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003ewww.semi.orgで入手可能となる。初版は\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e1995年発行、前版は\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e2010\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e年\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e3\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e月に発行された。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eマスフローデバイスで使用される際のガスを順番に並べた参照表となり、半導体産業で使用されるガスに番号を付けた表を提供すること。簡単に作る。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" 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